上海實(shí)華儲(chǔ)運(yùn)設(shè)備有限公司
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所 在 地上海市
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更新時(shí)間:2018-05-15 17:28:38瀏覽次數(shù):3017次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)氣體流量控制器因有控制器精度高,重復(fù)性好,反應(yīng)速度快。它適合半導(dǎo)體,CVD,擴(kuò)散,真空鍍膜,色譜、光纖熔煉,分析儀器,燃料電池,液晶屏,有機(jī)EL,生物工程,等離子蝕刻,環(huán)境測(cè)試,燃燒氣體控制,試驗(yàn)設(shè)備,焊接,微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個(gè)環(huán)節(jié)、各個(gè)制造過(guò)程中的流量控制。
氣體質(zhì)量流量控制器,美國(guó)艾博格AALBORG進(jìn)口氣體質(zhì)量流量控制器
操作原理:
被測(cè)氣體分別流經(jīng)兩個(gè)層流區(qū),一路通過(guò)主流量管道,另一路通過(guò)毛細(xì)測(cè)量管。兩個(gè)管路的設(shè)計(jì)保證流體處于層流狀態(tài),因此兩個(gè)管路流量比是恒定的。兩精密的溫度感應(yīng)繞組在測(cè)量管上被加熱,當(dāng)有流量產(chǎn)生時(shí),被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。測(cè)量繞組的電阻值與瞬時(shí)流量成線性比例關(guān)系,采用惠斯頓電橋來(lái)檢測(cè)測(cè)量繞組的電阻變化。根據(jù)被測(cè)氣體的質(zhì)量流量,輸出0-5 V D C或者4-20mA信號(hào)。經(jīng)過(guò)兩個(gè)層流區(qū)的氣體混合后流過(guò)具有特定孔徑的電磁比例閥,質(zhì)量流量測(cè)量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng),使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會(huì)影響流量測(cè)量值。
概述:
GFC/GFM系列用于測(cè)量/控制氣體質(zhì)量流量。本品外殼堅(jiān)固耐用,精確度高,是一款多功能而且經(jīng)濟(jì)實(shí)用的流量測(cè)量產(chǎn)品??蛇x鋁或不銹鋼外殼,可選顯示工程單位(標(biāo)準(zhǔn))或百分比。外形設(shè)計(jì)包括一個(gè)置于傳感器頂部的LCD顯示模塊,這個(gè)顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數(shù)。它用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)插頭與傳感器連接,也可以分開(kāi)獨(dú)立安裝。OEM的應(yīng)用可提供無(wú)LCD顯示的產(chǎn)品。GFC/GFM質(zhì)量流量控制、質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量范圍是10sccm到1000sL/min(N2);用1/4",1/8",3/8"和1/2"卡套螺紋或3/4"FNPT連接,可選其他連接方式。該儀表可以作為臺(tái)式設(shè)備或者用螺絲在平板上固定。電源電路采用保險(xiǎn)絲和極性保護(hù)設(shè)計(jì)。
性能特征:
品牌:美國(guó)艾博格Aalborg(成立于1982年,專(zhuān)業(yè)從事質(zhì)量流量計(jì)研發(fā)和生產(chǎn))
精確度(包括線性度):±1.5 %滿(mǎn)量程;±1%滿(mǎn)量程(標(biāo)定精度)在給定的溫度與壓力值下。
重復(fù)性:±0.5%滿(mǎn)量程(另外配有高精度系列)
量程范圍:0-1000升/分鐘
響應(yīng)時(shí)間:在滿(mǎn)量程25-范圍內(nèi),2秒鐘內(nèi)達(dá)到2%精度。
溫度系數(shù):0.15%滿(mǎn)量程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿(mǎn)量程/psi(0.07bar)
氣體和周?chē)鷾囟龋?2 F -122 F (5℃-50℃)
產(chǎn)品耐壓:100L以下70公斤,100-1000L耐壓34.5公斤
輸出信號(hào):線性度0-5Vdc,4-20MA(另外配有數(shù)字信號(hào)DFCAFC系列)
輸入信號(hào):線性度0-5Vdc,4-20MA(另外配有數(shù)字信號(hào)DFCAFC系列)
電源:+12 Vdc ;zui大200ohms。+24Vdc可選
時(shí)間恒量:800ms
氣體壓力:zui大1000 psig(70bar)。*20 psig(1.4bar)
流體接液材質(zhì):A:GFM鋁系列為陽(yáng)極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B:GFM17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列:316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)、可選氯丁橡膠圓環(huán)。
安裝:水平、垂直
連接:GFC/GFM17和37:1/4"卡套螺紋
VCR或1/8" 卡套螺紋可選(GFM17)
GFC/GFM47:3/8" 卡套螺紋
GFC/GFM57:3/8" 卡套螺紋
GFC/GFM67:1/2" 卡套螺紋
GFC/GFM77:3/4" 卡套螺紋
VCR或3/4" 卡套螺紋可選(GFM77)
黃工:(全天可)
huangyong0519
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主營(yíng)產(chǎn)品:氣體流量控制器、質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量傳感器、浮子流量計(jì)/控制器、氣體發(fā)生器(氮/氧氣)、比例電磁閥、電動(dòng)閥、壓力傳感器、溫控器、氣缸
移動(dòng)端:上海實(shí)華儲(chǔ)運(yùn)設(shè)備有限公司手機(jī)站
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