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德國(guó)BMT SMS專家級(jí)測(cè)量系統(tǒng)（共聚焦原理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

德國(guó)BMT公司生產(chǎn)的SMS測(cè)量系統(tǒng)是用于非接觸表面測(cè)量分析的三維光電測(cè)量系統(tǒng)。按客戶要求可選配其它多種光學(xué)位移測(cè)量傳感器，如：自聚焦傳感器、白光干涉系統(tǒng)、共焦傳感器、觸針式傳感器、三角測(cè)量傳感器、色敏傳感器。工作站基本配置為精密的大理石橋式測(cè)量臺(tái)和X、Y移動(dòng)工作臺(tái)。測(cè)量數(shù)據(jù)的采集是通過(guò)BMT三維軟件包完成的。數(shù)據(jù)采集速度快、表面輪廓復(fù)現(xiàn)度高。光斑軌跡小以及傾斜度大的輪廓，可以對(duì)宏觀和微觀結(jié)果進(jìn)行量化。所有的測(cè)量軸都具有納米分辨率，模塊化設(shè)計(jì)使系統(tǒng)可用于不同的測(cè)量任務(wù)。軟件系統(tǒng)界面直觀，操作方便，可以選配電機(jī)驅(qū)動(dòng)Z軸來(lái)擴(kuò)大測(cè)量范圍。

主要用途

◆ 任何粗糙、光滑表面檢查和測(cè)量（可選用不同的傳感器）
◆ 用于金屬片、紙、玻璃塑膠、晶片、*等行業(yè)
◆ 其他表面的微觀形貌測(cè)量
◆ 微型機(jī)械元件的尺寸測(cè)量
◆ 金相測(cè)量
◆ 微小或較大區(qū)域內(nèi)直線度、平面度、臺(tái)階高度、粗糙度的測(cè)量計(jì)算

主要特點(diǎn)

◆ 非接觸測(cè)量表面輪廓、反射率、垂直和橫向尺寸
◆ 測(cè)量范圍：X、Y方向可達(dá)300mm、Z軸可達(dá)50mm
◆ 橫向分辨率優(yōu)于1μm，Z軸分辨率zui高接近1mm（取決于傳感器）
◆ 可用顯微鏡和照相機(jī)觀察表面（選配）
◆ 二維/三維粗糙度測(cè)量分析、快速傅立葉變換、自相關(guān)函數(shù)并可測(cè)平面度、臺(tái)階高度、斜坡
◆ 采用宏匯編語(yǔ)言實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量

主要優(yōu)勢(shì)

◆ 快速分析表面結(jié)構(gòu)且結(jié)構(gòu)緊湊

◆ 自動(dòng)數(shù)據(jù)采集和評(píng)估

◆ 用戶搭配的測(cè)量系統(tǒng)

◆ 測(cè)量范圍大

◆ 合理的價(jià)格

關(guān)鍵詞：工作站顯微鏡

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