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行業(yè)產(chǎn)品

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PECVD 增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)PECVD

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：李霞查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：275次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：216條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：李霞

產(chǎn)品簡介

PECVD 增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積管式爐。它包括一臺(tái)500瓦的射頻等離子源、一臺(tái)內(nèi)徑50毫米的裂解管式爐、配有4通道質(zhì)量流量計(jì)的氣體混合容器、以及一臺(tái)機(jī)械真空泵。

詳細(xì)介紹

 

一、產(chǎn)品簡介
PECVD 增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積管式爐。它包括一臺(tái)500瓦的射頻等離子源、一臺(tái)內(nèi)徑50毫米的裂解管式爐、配有4通道質(zhì)量流量計(jì)的氣體混合容器、以及一臺(tái)機(jī)械真空泵。
這套PECVD系統(tǒng)是一臺(tái)氣態(tài)條件下，在固體表面上沉積薄膜和生長納米絲的理想工具。
本系統(tǒng)除了提供理想的功能，在同類產(chǎn)品中價(jià)格低廉，使許多相關(guān)研究人員從中受益。
二、主要特點(diǎn)
1、與常規(guī)的化學(xué)氣象沉積方式比較，成膜溫度降低；. 
2、由于頻率可調(diào)，膜的應(yīng)力可以控制； 
3、各種氣體的混合比例可控；
4、可供多種材料進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)，例如SiOx, SiNx, SiOxNy 和非晶態(tài)的硅材料 （a-Si:H） 沉積。
三、主要技術(shù)參數(shù)
1、zui高工作溫度：1200oC；
2、30段程序數(shù)字顯示控溫器；
3  、溫區(qū)總長度：440 mm，恒溫區(qū)長度：150 mm l；
·   4、石英管長度：外徑60mm x 內(nèi)徑53mm x 長度1200mm；
5、1對(duì)帶有閥門的真空密封法蘭；
6、電源：交流220伏，zui高功率4千瓦；
7、輸出功率：（管式爐除外）5-500瓦；
8、頻率：13.56MHz±0.005%；
9、反射功率：200瓦；
10、調(diào)整：自動(dòng)；
11、射頻輸出端口： 50 Ω, N-型,內(nèi)插口；
12、噪音：小于50分貝；
13、冷卻：水冷。
北京路業(yè)通達(dá)科技有限公司竭誠為您服務(wù)！期待與您的合作！
銷售專員：李霞；銷售專線：、57218058、57218059
 


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