ICP光譜儀又稱分析儀，廣泛為認知的為直讀ICP光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統(tǒng)，一個成像系統(tǒng)和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。
ICP光譜儀的工作原理：
根據(jù)現(xiàn)代ICP光譜儀器的工作原理，ICP光譜儀可以分為兩大類：經(jīng)典ICP光譜儀和新型ICP光譜儀。經(jīng)典ICP光譜儀器是建立在空間色散原理上的儀器;新型ICP光譜儀器是建立在調(diào)制原理上的儀器。經(jīng)典ICP光譜儀器都是狹縫ICP光譜儀器。調(diào)制ICP光譜儀是非空間分析的，它采用圓孔進光。根據(jù)色散組件的分析原理，ICP光譜儀器可分為：棱鏡ICP光譜儀，衍射光柵ICP光譜儀和干涉ICP光譜儀。
光學多道分析儀OMA是近十幾年出現(xiàn)的采用光子探測器(CCD)和計算機控制的新型光譜分析儀器，它集信息采集，處理，存儲諸功能于一體。
由于OMA不再使用感光乳膠，避免和省去了暗室處理以及之后的一系列繁瑣處理，測量工作，使傳統(tǒng)的光譜技術(shù)發(fā)生了根本的改變，大大改善了工作條件，提高了工作效率;使用OMA分析光譜，測量準確迅速，方便，且靈敏度高，響應時間快，光譜分辨率高，測量結(jié)果可立即從顯示屏上讀出或由打印機，繪圖儀輸出。它己被廣泛使用于幾乎所有的光譜測量，分析及研究工作中，特別適應于對微弱信號，瞬變信號的檢測。
