任何高精儀器都考研其性能，優(yōu)異性能的ICP光譜儀做篩選檢測時可以準(zhǔn)確排查是否合格，將空白空間縮小;
有些ICP光譜儀對有些相似金屬識別率較低或者誤判，比如鎘譜線與X光管銠的電極征譜線重疊。甚至不能準(zhǔn)確測定鎘;
由于性能不足，可能發(fā)生錯判、誤判、無法判定等事件頻發(fā)，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風(fēng)險增加。
大部分ICP光譜儀的檢測穩(wěn)定性受到X光管老化、環(huán)境溫度、電源波動等影響，使數(shù)值不準(zhǔn)，有的ICP光譜儀X射線漏泄嚴(yán)重，危及操作人員的安全。
ICP光譜儀的關(guān)鍵性能
一、X線束光斑直徑
A.光斑直徑大小在使用中會體現(xiàn)出一些差別。目前光斑直徑從0.1mm到15mm不等。光斑小不受試樣面積限制，光斑大受材料不均勻性影響小。
二、檢測器
A.SDD：新型的SDD檢測器屬高純硅檢測器，穩(wěn)定性好，檢測靈敏度高。
B.SSD：老款的SSD檢測器屬硅鋰檢測器，漂移大，檢測靈敏度低。
三、 X光管的電極材料
目前X線熒光ICP光譜儀基本上采用銠靶X光管，個別有鎢靶X光管的。
四、檢測方法和軟件
A.帶補正的相對檢量線法：可以自動補償環(huán)境條件變化、供電變化、X管老化等對檢測數(shù)據(jù)的影響。
B.FP法、部分檢量線法：穩(wěn)定性差。
C.光斑大小間接反映X光束的能效。大光斑（幾mm到十幾mm）通常采用準(zhǔn)直器整理光束，被遮擋部分白白浪費掉;1mm以下小光斑采用導(dǎo)管整理光束，能量損失較少。
D.光斑大小根據(jù)實際測量需要選擇，光束能量損失通常制造商在軟件、濾光片等方面做適當(dāng)補償。
