當前位置:北京百萬電子科技中心>>檢測分析儀器>> QT104-703D半導體特氣檢漏儀
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產(chǎn)品型號QT104-703D
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式:李工查看聯(lián)系方式
更新時間:2025-07-22 15:25:54瀏覽次數(shù):438次
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特點:
Z適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
檢測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、乙烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理
型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應答速度 10秒以內(nèi)
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