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日本電測熒光膜厚儀

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產(chǎn)品型號EX-3000

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所在地東莞市

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更新時間：2025-07-25 10:00:01瀏覽次數(shù)：538次

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東莞市力川儀器有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：178條

所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：郭俊彪（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

本機能精確測量極細小物件鍍膜厚度，可進行單層及多層膜厚測定、合金膜厚成份比同時測定及無素的光譜峰值測定分析。

詳細介紹

力川儀器專業(yè)生產(chǎn),歡迎選購!

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產(chǎn)品型號： EX-3000
品牌：日本電測
產(chǎn)品簡介：
本機能精確測量極細小物件鍍膜厚度，可進行單層及多層膜厚測定、合金膜厚成份比同時測定及無素的光譜峰值測定分析。
主要技術參數(shù)：
儀器特點：
搭載MS-WINDOWS系統(tǒng)（*的操作性與高精度測定）
使用與IBM PC兼容個人電腦，采用MS-WINDOWS軟體，使用時多彩多姿。
采用二種濾波器
用用數(shù)位式濾波器外另有機械式濾波器（兩種濾波器），在測定時，若是zui適當?shù)臈l件下，
經(jīng)?？傻玫絲ui高的精度。
準值儀5種孔徑內(nèi)藏式
zui小的準值儀孔徑僅0.1 mm，可測定極微小的部品。
標準：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規(guī)格可供選購。
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5

自動測定測量臺
利用鼠標來調(diào)整測量位置，非常敏捷快速?；蚴菧y量位置已完成登陸時，可連續(xù)自動測定，
利用座標補正、連結頻道，來應付各種測量軌跡。亦可用自動測定來作標準片校正。
*的顯示機能
測定部顯示盡像的表示
X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準儀照射測定物的位置，可由倍率
率更機能來實現(xiàn)盡面上測出物放大。
在膜厚測定中的能譜表示
由多頻分析器可快速處理能譜分析。可執(zhí)行測定物的能譜分析表示，操作簡單。
提長資料處理的速度
充實測量報告的作成機能
采用MS-WINDOW軟件，測定畫的擷取，非常簡便，可充襯測量報告的制作機能?？赏瑫r間
隔處理多項工作，機器在測量中亦可處理其它工作：包括如測量報告的制作。
測定物膜厚附著分布表示
以三次元圖案來表示測定物膜厚附著狀態(tài)的分布，作判定時一目了然。獲得安心的保證性。
自己診斷機能及X線管保食機能
自己診斷機能，迅速的對策來排除機器的因擾。附有X線管的使用時間及耐久時間表示機能，
可加強保養(yǎng)的安全性。
儀器詳細介紹：
1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計數(shù)管。
4. 濾波器：采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)字式濾波器，可單一或同時使用。
5. 準直儀：Collimator 采用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。
0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜.
（選購） 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜.
（選購） 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜.
6. 樣品觀測系統(tǒng)：彩色CCD及高畫質(zhì)顯示屏。
7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執(zhí)行測量及運算時，非?？焖?。
貳. 計算機操作部:
8. 計算機系統(tǒng)：（※僅供參考）
   IBM 兼容中文個人計算機.
   CPU：In Celeron 1GHz.
   RAM：128 MB.
   Floppy Disk：3.5 ×1，  40倍速 CD-ROM ×1.
   Hard Disk：40 GB.
   17" 高畫質(zhì)顯示屏.
   EPSON彩色噴墨式打印機。
9. 本機型（CO**OS-1X系列）之操作系統(tǒng)采中文窗口（Windows98）對話式操作，非常簡便。
-1-
參. 特性說明:
10. 測量項目：
   單層膜厚測定.
   2層膜厚測定.
   3層膜厚測定.
   無電解鎳膜厚測定.
   合金膜厚成份比同時測定.
   元素的光譜峰值測定分析.
11. 測量材質(zhì)：原子序22（Ti） ~ 82（Pb）為激發(fā)法測量。    原子序22以下為吸收法測量。
12. 測量范圍：原子序22 ~ 24 ，約 0.2 ~ 20 um.         原子序25 ~ 40 ，約 0.1 ~ 30 um.   原子序
41 ~ 51 ，約 0.2 ~ 70 um.   原子序52 ~ 82 ，約 0.05~ 10 um.
13. 測量機能：
       同一點重復測定機能
   輸出形式設定.
       能譜測定.
14. 測量條件或膜厚規(guī)格可以保存.
當要測量相同的制品時，若測量條件已儲存，可以馬上進行測量。
zui大檢量線檔案數(shù)：可登錄儲存100組檔案。
zui大測量檔案數(shù)  ：可登錄儲存300組檔案。
15. 檔案記錄：
   每一個批號可儲存無限個測量數(shù)據(jù).（因所使用的計算機之容量大小而定）
   每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.
   每個批號可單獨執(zhí)行統(tǒng)計處理.
-2-
   每個測量檔案可輸入不同的檢量線（校正曲線）.
16. 數(shù)據(jù)處理：
   統(tǒng)計值表示：平均值、標準偏差、zui大值、zui小值、上下限值范圍、Cp、Cpk。
   X-R 管制圖.
   柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。
   可彩色打印觀物顯示屏上所觀測之圖像。
17. 底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。
18. 觀物顯示屏：十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。
肆. 安全裝置.
19. 本機俱有自動安全斷電系統(tǒng)功能.
20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出，以防止外人任意操作.
伍. 其它機能.
21. 密碼辨識功能
22. 裝置維護調(diào)整.
23. 測量部主機：尺寸：362（W） ×425（D） ×486（H）㎜.
重量：約 44.2 Kg.
24. 操作部：（※僅供參考）
   計算機尺寸：180（W） ×420（D） ×360（H）㎜.
重量：約 8.8 Kg.
   顯示屏尺寸：360（W） ×420（D） ×370（H）㎜.
重量：約16.5 Kg.
   打印機尺寸：500（W） ×250（D） ×300（H）㎜.
重量：約 4.3 Kg.
-3-
柒. X-Y-Z軸可移動式測量臺.
25. 測量臺尺寸及移動量.
測量臺尺寸   170 （W） ×100 （D）  ㎜
移動量（X-Y-Z軸） 70 ×70 ×50 ㎜.
26. 測量樣品限制.
樣品限制高度：  45㎜
樣品限制重量：  3 Kg.
捌. 使用電源.
27. 電壓: AC100V ±10V ； 50/60Hz
（選購） AC110V， AC220V.
28. 容量: 700V