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行業(yè)產(chǎn)品

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上海凱美特功能陶瓷技術(shù)有限公司


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光譜橢偏儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：吳小姐查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-05-09 11:43:16瀏覽次數(shù)：550次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：61條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：吳小姐 （助理）

產(chǎn)品簡介

SE-VE橢偏儀是基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜，可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。

詳細(xì)介紹

一、目的

本設(shè)備基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜，可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。

二、測量系統(tǒng)規(guī)格

SE-VE光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)

  1. 橢偏儀測頭規(guī)格：

  1. 光譜范圍：400-800nm

  2. 入射角：65°

  3. 光斑大?。?/span>2-3mm

  4. 調(diào)制技術(shù)：PCRSA調(diào)制技術(shù)

  5. 膜厚重復(fù)性測量精度：0.05nm（100nm 硅基SiO2樣件，30次重復(fù)測量1σ）

  6. 折射率測量精度：0.001（100nm 硅基SiO2樣件，30次重復(fù)測量1σ）

  7. 膜厚測量范圍：0.1nm—10μm

  8. 單點(diǎn)測量時間：＜5s

  9. 光源：高性能進(jìn)口鹵素?zé)艄庠矗u素?zé)魤勖?/span>2,000h）

  10. 可視化樣品顯微對準(zhǔn)系統(tǒng)

    圖1光譜橢偏測頭原理圖

    圖2 SE-VE光譜橢偏儀實(shí)物圖

  1. 樣品臺規(guī)格：

  1. 基板尺寸：*大支持樣件尺寸到8inch晶圓 （可定制）

  2. Z軸位移行程：0-10mm

  3. 樣件臺俯仰角度：> ±2°

  1. 測控與分析軟件

  1. 光譜測量能力：PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測量

  2. 數(shù)據(jù)分析能力：具備單層、多層膜厚、光學(xué)常數(shù)（折射率、消光系數(shù)）分析能力

  3. 支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型（柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等），并支持圖形化多振子混合模型擬合功能

  4. 支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、組分比例分析功能； 核心算法包含嚴(yán)格耦合波模型、等效介質(zhì)模型

  5. 支持用戶自定義，軟件不限制拷貝數(shù)量，支持windows10操作系統(tǒng)

  1. 測控與分析計(jì)算機(jī)

  1. 操作系統(tǒng)：WIN10 64位

  2. CPU處理器：Intel 酷睿I3

  3. 內(nèi)存：≥4G

  4. 硬盤：≥500G

  5. 顯示器：≥19寸

  1. 配件

  1. 標(biāo)準(zhǔn)SiO2/Si標(biāo)樣

  2. 標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套

  1. 環(huán)境要求

  1. 橢偏儀承載臺：尺寸>1.5m（長）× 1.0 m（寬），承載能力大于50Kg（建議光學(xué)隔振）

  2. 使用溫度范圍：20 ~ 26 ℃

  3. 相對濕度：35% ~ 60% RH

  4. 空氣壓力范圍：750~1014 mbar

  5. 潔凈度： Class 10000

  1. 能源要求

  1. 供電電源電壓：220V AC

  2. 正常頻率范圍：49-51Hz

  3. 相電流：有效值小于0.5A（220V AC）

  4. 功率：小于110 W

  1. 涂裝與表面處理

  1. 涂裝顏色：以黑色為主

  2. 表面處理：鍍化學(xué)鎳、陽極處理、烤漆等

  1. 質(zhì)保與售后服務(wù)

  1. 整機(jī)硬件質(zhì)保期為12個月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時免費(fèi)維修，對非人為造成的各類零件損壞，及時免費(fèi)更換

  2. 測控與分析軟件：升級，數(shù)據(jù)分析軟件提供拷貝

  3. 為用戶提供**充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓(xùn)

  4. 提供終身免費(fèi)數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持，為用戶提供樣件材料光學(xué)常數(shù)標(biāo)定與模型庫升級服務(wù)

  5. 供方在接到故障報(bào)修信息后，供方維修人員4小時內(nèi)電話響應(yīng)，*晚48小時內(nèi)供方服務(wù)工程師進(jìn)行****維修


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