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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

北京燕京電子有限公司


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Junior小型等離子表面處理設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:李英查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2026-08-24 07:59:27瀏覽次數(shù):596次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

重要用于實(shí)驗(yàn)或者小型的等離子處理

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

  • 反應(yīng)艙:
        材料:鋁
        有效尺寸:直徑230 x 深度250mm
        容積:10.4升
        艙門:裝有可視窗口
        托盤:訂制
  • 真空度測(cè)量:
        皮拉尼真空計(jì)(利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來(lái)測(cè)量的,而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān))
  • 真空泵:
       二級(jí)旋片式真空泵;3m3 每小時(shí)。
  • 頻射發(fā)生器:
        0~600w可調(diào),2.45GHZ發(fā)生器
  • 控制系統(tǒng):
        觸摸屏操作,PLC控制系統(tǒng)
        PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能:
             1、自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程;
    ?       2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程;
    ?       3、測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo);
    ?       4、監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo),保證在設(shè)定范圍之內(nèi);
    ?       5、 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。
  • 電源:
         220V AC、50Hz、16A.
  • 反應(yīng)氣體:
        一個(gè)氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC);根據(jù)用戶需要,可擴(kuò)展
  • 氣體輸入:
        直徑1/4英寸(0.645厘米)管道;輸入壓力:1Bar. 
  • 安全性能:
        急停開關(guān);真空泵保護(hù)鎖;高溫保護(hù)鎖;CE安全認(rèn)證。

 用途:

小型物件的活化、清洗、蝕刻等。

 

可選件:

 

  • 頻射發(fā)生器:100KHZ, 13.56MHZ ,可訂制
  • 可加裝15m3每小時(shí)的真空泵
  • 根據(jù)需要,可訂制多個(gè)氣體輸入管道
  • 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
  • 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
  • 石英反應(yīng)艙 
  • N2 Purge. 

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