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高壓加速老化壽命箱測(cè)試半導(dǎo)體器件老化性能的方法
一、前言：
在半導(dǎo)體行業(yè)的迅猛發(fā)展進(jìn)程中，半導(dǎo)體器件的可靠性與穩(wěn)定性已然成為決定電子產(chǎn)品質(zhì)量與使用壽命。高壓加速老化壽命箱通過高溫、高濕、高壓的嚴(yán)苛環(huán)境，能夠顯著加速半導(dǎo)體器件的老化進(jìn)程，在較短時(shí)間內(nèi)揭示潛在缺陷，為產(chǎn)品質(zhì)量把控與性能優(yōu)化。
二、設(shè)備：
高壓加速老化壽命箱
溫度范圍 | 100℃～145℃（飽和蒸氣溫度） |
溫度波動(dòng)度 | ±0.5℃ |
溫度均勻度 | 2℃ |
濕度范圍 | 80%R.H～99%R.H |
濕度波動(dòng)度 | ±1.5%R.H |
濕度均勻度 | 3.0%R.H |
壓力范圍 | 0.2～3kg/cm2 (0.05～0.294MPa) |
升溫時(shí)間 | 由常溫升至145°C約:40分鐘 |
控制器 | 7寸彩色觸摸屏智能模糊控制器操作系統(tǒng) |
內(nèi)箱材料 | SUS304不銹鋼板:內(nèi)膽整體全滿焊焊接而成 |
外箱材料 | 優(yōu)質(zhì)防腐電解板，表面靜電粉體烤漆 |
保溫層 | 超細(xì)保溫層，阻燃等級(jí)A1 |
噪音 | ≤60分貝(dB) (噪音檢測(cè)裝置距離設(shè)備大門1m處測(cè)量) |
三、測(cè)試方法
初始性能測(cè)試
步驟 | 操作內(nèi)容 | 測(cè)試參數(shù) | 評(píng)估標(biāo)準(zhǔn) |
1 | 將半導(dǎo)體器件從恒溫恒濕儲(chǔ)存環(huán)境取出，放置在標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試環(huán)境（25℃，相對(duì)濕度 60%）中 2 - 4 小時(shí)，使其達(dá)到熱平衡狀態(tài)。 | 環(huán)境溫度：25℃ 相對(duì)濕度：60% | 確保器件在測(cè)試環(huán)境中穩(wěn)定達(dá)到熱平衡 |
2 | 使用測(cè)試儀器，如半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、示波器等，對(duì)器件的關(guān)鍵性能參數(shù)，如導(dǎo)通電阻、閾值電壓、漏電流等進(jìn)行測(cè)量和記錄。 | 依據(jù)不同測(cè)試儀器及被測(cè)參數(shù)而定 |
器件編號(hào) | 導(dǎo)通電阻（Ω） | 閾值電壓（V） | 漏電流（A） |
001 | 0.52 | 1.25 | 1.0×10?? |
002 | 0.53 | 1.26 | 1.1×10?? |
003 | 0.51 | 1.24 | 0.9×10?? |
高壓加速老化測(cè)試
步驟 | 操作內(nèi)容 | 測(cè)試參數(shù) | 評(píng)估標(biāo)準(zhǔn) |
1 | 將經(jīng)過初始性能測(cè)試的半導(dǎo)體器件放入高壓加速老化壽命箱內(nèi)，按照器件類型和測(cè)試需求合理擺放，確保器件之間有足夠的空間，避免相互影響。 | 無 | 器件擺放整齊，無相互遮擋、擠壓 |
2 | 關(guān)閉箱門，設(shè)定高壓加速老化壽命箱的測(cè)試參數(shù)，包括溫度、濕度、壓力和測(cè)試時(shí)間。 | 溫度：85℃ 相對(duì)濕度：85% 壓力：2 個(gè)大氣壓 測(cè)試時(shí)間：根據(jù)器件類型和要求設(shè)定，一般為 168 小時(shí)、500 小時(shí)或 1000 小時(shí) | 參數(shù)設(shè)定準(zhǔn)確無誤，符合測(cè)試計(jì)劃要求 |
3 | 啟動(dòng)設(shè)備，待箱內(nèi)環(huán)境達(dá)到設(shè)定參數(shù)并穩(wěn)定后，開始計(jì)時(shí)。在測(cè)試過程中，定期觀察箱內(nèi)環(huán)境參數(shù)的波動(dòng)情況，確保測(cè)試條件的穩(wěn)定性。若出現(xiàn)異常，及時(shí)記錄并采取相應(yīng)措施進(jìn)行調(diào)整。 | 無 |
時(shí)間（小時(shí)） | 溫度（℃） | 濕度（%） | 壓力（大氣壓） |
0 | 85.0 | 85.0 | 2.00 |
24 | 84.8 | 84.5 | 1.98 |
48 | 85.2 | 85.5 | 2.01 |
72 | 84.9 | 84.8 | 1.99 |
