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行業(yè)產(chǎn)品

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青島世融馨儀器科技有限公司


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氣體流量控制器 質(zhì)量流量計

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：閻培偉查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-08-26 13:56:15瀏覽次數(shù)：765次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：山東青島市

聯(lián)系人：閻培偉 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

一、 氣體流量控制器產(chǎn)品概述 采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu) 勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質(zhì)量流量計和流量控 制器，主要應(yīng)用于輕

詳細介紹


一、 氣體流量控制器產(chǎn)品概述


       采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、  氣體流量控制器技術(shù)參數(shù)


2.1 測量介質(zhì)：空氣，氮氣，二氧化碳，氬氣，氧氣，氫氣，氦氣
2.2 流量范圍： DN2：20-10000mL/min
DN3：1000-30000mL/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態(tài) 20℃，101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定
2.3 允許誤差：±1.5%FS
2.4 精度保證溫度：15-35℃；
2.5 工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
2.6 供電電源：24VDC
2.7 輸入信號：0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.9 環(huán)境溫度：5-45℃；
顯示位數(shù)：瞬時流量為 6位，累積流量 8位。


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