光罩全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x GM-7060

 

 

 

產(chǎn)品介紹：

 

    光罩全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)xGM-7060系列為七海測(cè)量技術(shù)突破之革命性影像測(cè)量系統(tǒng)，結(jié)合光罩技術(shù)（Glass Mask）取代傳統(tǒng)以光學(xué)尺計(jì)數(shù)之測(cè)量模式。無光學(xué)尺、無累計(jì)誤差之大行程懸臂式影像測(cè)量?jī)x器，將光學(xué)尺所產(chǎn)生的區(qū)段誤差、累計(jì)誤差、回程誤差等問題消除。突破在大行程測(cè)量?jī)x器上的限制，更能精確與客觀的獲得確切數(shù)據(jù)。專門針對(duì)電路板、銘板、印刷、Touch Panel等業(yè)界測(cè)量研發(fā)設(shè)計(jì)。

 

 

 

 

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

·基座、立柱、工作臺(tái)全機(jī)采用精密00級(jí)花崗巖，降低形變系數(shù)，穩(wěn)定性高；

 

·三軸高精度伺服馬達(dá)傳動(dòng)；

 

·七海光罩技術(shù)測(cè)量?jī)x，無光學(xué)尺和編碼器，無阿貝誤差，精度不受機(jī)械誤差影響；

 

·技術(shù)突破，懸臂式大行程影像測(cè)量?jī)x，高精度，無累計(jì)誤差；

 

·可搭配激光測(cè)頭應(yīng)用；

 

·搭配七海專業(yè)版測(cè)量軟件EF系列軟件；

 

·芯片、電路板、銘板、印刷、Touch Panel等專用測(cè)量機(jī)型。

 

 

 

 

 

技術(shù)參數(shù)：

 

·型號(hào)：GM-7060

 

·行程：（mm）X-700  Y-600  Z-100

 

·外形尺寸：1860*1270*1680

 

·工作臺(tái)大?。?020*920

 

·工作臺(tái)承重：5kg

 

·機(jī)臺(tái)重量：800kg

 

·軸向測(cè)量精度：XY（3μm+5L/1000）μm

 

·平面精度：<5μm

 

·控制方式：自動(dòng)

 

·攝像機(jī)：SOV-高解析1/3"  彩色CCD

 

          SOV-測(cè)量專用型鏡頭

 

·光源：輪廓光LED，亮度連續(xù)可調(diào)

 

        表面光LED，亮度連續(xù)可調(diào)

 

·放大倍數(shù)：30x-200x（光學(xué)放大倍率為0.7-4.5倍）

 

·選配功能：七海16向全視角旋轉(zhuǎn)燈源系統(tǒng)

 

            七海12段自動(dòng)變焦鏡頭

 

            美國(guó)NAVITA測(cè)量專用鏡頭

 

         觸發(fā)測(cè)頭探針組（智慧型探針測(cè)量系統(tǒng)）

 

         激光位移感測(cè)系統(tǒng)

 

·工作距離：90mm

 

·電源：220V±10%，50Hz（用電設(shè)備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆）

 

·工作環(huán)境：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度45%~75%，振動(dòng)<0.002g，低于15Hz