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更新時(shí)間：2025-10-08 09:12:17瀏覽次數(shù)：181次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 儀表網(wǎng)XD Laser 激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上，XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄準(zhǔn)確長度位置，XD Laser 激光干涉儀**束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考......
XD Laser™激光干涉儀簡介
XD Laser™激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上，XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄準(zhǔn)確的長度位置，**束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。
為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到*小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動(dòng)氣壓，環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到*低。
XD Laser™激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
1. 線性：0.5ppm .
2. 測量范圍：40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. *大范圍：800角秒
6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度*大范圍：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 溫度精度：0.2攝氏度
11.濕度精度：5%
12.壓力精度：1mmHg
主要特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
XD Laser™激光干涉儀工作流程圖
XD Laser™激光干涉儀細(xì)節(jié)圖
XD Laser™激光干涉儀界面圖
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