東莞市源興光學(xué)儀器有限公司
會員1.png)
東莞市源興光學(xué)儀器有限公司
閱讀：402發(fā)布時間：2021-10-13
影像測量儀的測量可以是單軸、二維平面的測量，也可以是三維空間坐標(biāo)的測量,測量時先對焦,取點(diǎn),最后計(jì)算處理。讀數(shù)來自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng),對焦對準(zhǔn)依靠光學(xué)系統(tǒng),還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源,因?yàn)?基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:
(1)光柵計(jì)數(shù)尺的誤差;
(2)工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;
(3)工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差;
(4)顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來的誤差;
(5)測量室溫度偏離校準(zhǔn)要求的參考溫度帶來的誤差;
(6)光源照明條件的變化帶來的對焦和對準(zhǔn)誤差。
在這幾種因素中,前四項(xiàng)誤差,是硬件誤差,在儀器制造過程中已經(jīng)形成并固定下來,一般無法改變;溫度影響帶來的誤差,必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。項(xiàng)則常被忽視,而在實(shí)際測量中,當(dāng)光源照明條件改變時,直接影響被測工件的照明效果和影像質(zhì)量,主要是因?yàn)橛跋駵y量儀的圖像是通過CCD接收,盡管CCD具有自動調(diào)節(jié)增益的功能,但當(dāng)亮度過大時即失去調(diào)節(jié)功能,導(dǎo)致被測工件影像在縮小,當(dāng)亮度過低時,工件影像反而變大。
這種影響,對于測量具有重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)之間的間距時,只要整個測量過程中照明條件保持不變,其影響可以忽略,因?yàn)槊總€重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)都同時在變大或變小,間距的測量計(jì)算直接消除了影像變形的影響,如測量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情形外,如測量圓的直徑、工件的長度和寬度,都將帶來明顯的誤差。
在以影像測量工件樣品結(jié)構(gòu)的幾何尺寸時,光照明條件的改變將會直接影像被測尺寸,如線寬、圓直徑及其他幾何形位公差,因次要確保取到的邊界點(diǎn)是產(chǎn)品需要檢測的邊界,在高精度測量中,這是導(dǎo)致測量不確定度增大的關(guān)鍵因素,應(yīng)引起足夠重視。
儀表網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼