高純硅烷分析色譜系統(tǒng)名稱：硅烷中雜質(zhì)分析檢測(cè)系統(tǒng)。

我公司設(shè)計(jì)的“高純氣分析檢測(cè)系統(tǒng)”包括以下主要設(shè)計(jì)思路：

l  專臺(tái)，在*檢測(cè)要求的前提下，優(yōu)化組合配套；

l  儀器的選型配套，要符合實(shí)驗(yàn)室的使用要求，并且便于分析人員的操作；

l  提供人性化的售后服務(wù)和支持，保證使用方能獨(dú)立操作。

高純硅烷分析色譜技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

我公司設(shè)計(jì)的“高純氣分析檢測(cè)系統(tǒng)”方案擁有以下技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

l  色譜儀的核心部件----檢測(cè)器*基于愛爾蘭AGC公司的自主研發(fā)， 具有較高的靈敏度、較好的穩(wěn)定性；

l  色譜儀的氣路系統(tǒng)----獨(dú)到的中心切割、反吹系統(tǒng)技術(shù)，可以一次完成多種復(fù)雜成分的分析檢測(cè)；

l  色譜儀的軟件系統(tǒng)----專門為AGC色譜配套研發(fā)的Trend Vision，除完成測(cè)試報(bào)告、自動(dòng)分析/存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，自動(dòng)繪制譜圖、反控氣相色譜、調(diào)節(jié)保留時(shí)間及各種切割動(dòng)作外，zui多可同時(shí)控制4臺(tái)分析儀器；

l  本方案中所配套的露點(diǎn)儀，為行業(yè)內(nèi)*的氣體分析儀器，可以*實(shí)驗(yàn)室高純氣體的檢測(cè)。

 方案詳解

方案總述

l 硅烷中H₂、O₂、N₂、CH₄、CO、CO₂雜質(zhì)分析

*儀器：AGC 100DID氣相色譜儀

數(shù)量：1臺(tái)

l 特氣分析吹掃系統(tǒng)一套

硅烷中H₂/O₂/N₂/CH₄/CO/CO₂雜質(zhì)分析----AGC100DI

的工作原理：

放電離子化檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)如圖1所示。該檢測(cè)器由電離室和放電室兩部分組成，兩室之間有狹路相通。當(dāng)在放電室內(nèi)的兩個(gè)高壓電極上加以適量高壓電后，兩電極之間就會(huì)產(chǎn)生放電，從而得到一束高能量的紫外光輻射(400－500nm)。高能紫外光被引入射向電離室內(nèi)，在這過程中，高能光子直接照射樣品成份中被測(cè)雜質(zhì)分子，使其電離形成離子，或者高能光子首先將載氣氦原子激發(fā)至亞穩(wěn)態(tài)(He*)，然后具有較高能量的He*再與樣品中雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞并使其電離。此時(shí)在集電極上加以適當(dāng)電壓收集被電離的雜質(zhì)分子，并將其信號(hào)放大記錄即得到被測(cè)成份的譜峰。由于光子具有較高能量(24.8ev)，因此可使包括氖在內(nèi)的一切物質(zhì)分子電離，所以，DID是一種高靈敏度、通用型檢測(cè)器。