勻膠機(jī)規(guī)格

臺(tái)式勻膠機(jī)：（Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。 
詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater) 
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂儀等。 
產(chǎn)品概述: 
同德品牌KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆. 
1、4.3寸24位真彩色觸摸屏
1、人機(jī)界面和編程模式：2、帶USB口可接U盤存儲(chǔ)轉(zhuǎn)移數(shù)據(jù),
可接無線鼠標(biāo)鍵盤：機(jī)器可放于手套箱
同時(shí)客戶可在手套箱外遠(yuǎn)程操作機(jī)器
3、可存儲(chǔ)無限組數(shù)據(jù)，每組10段轉(zhuǎn)速
4、轉(zhuǎn)速范圍1-10000轉(zhuǎn)/分，加速度可調(diào)
2、兼容基片：Φ5-Φ150mm硅片及其它材料等勻膠
3、加速度范圍：1-10000RPM/S
4、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±0.1％
5、膜的均勻性：±1％
6、電機(jī)功率：200W
7、供電方式：單相110-240V供電
8、真空泵抽氣速率：≥60升／分
9、儀器尺寸：210×220×160mm
10、勻膠機(jī)重量：10KG
11、泵重量：9KG
12、特色功能：1.全機(jī)身采用304不銹鋼材質(zhì)
2.轉(zhuǎn)速精度：1RPM
3.智能化人機(jī)界面，可放入手套箱
13、配套片托：5-150mm