雙電測四探針測試儀KDB-3
雙電測四探針測試儀KDB-3
KDB-3雙組合測試儀是根據(jù)標準SEMI MF1529設計,雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中,在測試樣品的每個測量位置上,以兩種不同的方式(配置)將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測量。單組合四探針相比,用較小間距的探針頭就可以進行高精度的測量,從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。
儀器特點如下:
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值;同樣,當四探針頭1、3探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、3探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、4探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、流經硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、可選配軟件進行數(shù)據(jù)采集,可進行雙組合或單組合測量,實現(xiàn)自動切換電壓檔位、讀取相應電壓值,根據(jù)不同方法計算電阻率或方塊電阻值;軟件可對測量數(shù)據(jù)進行分析,如平均值,大值、小值、大百分變化率、平均百分變化率、徑向不均勻度等內容。
7、可配KDDJ-3電動測試架,自動上下運行,使測量更方便快捷。
8、四探針頭采用上*的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高
智能單參數(shù)水質測定儀為測定水質的一款經典實驗室儀器,測試精度高,測試范圍廣,功能*、操作簡單、理解簡單、簡單到沒有實驗經驗的人都要會用,一定要讓用戶擺脫繁瑣之苦。此款儀器可實現(xiàn)水中各參數(shù)濃度的快速檢測。 功能特點: * 微電腦,輕觸式鍵盤,LCD液晶數(shù)字清晰顯示,使用方便,分辨率達0.01mg/L * 準確、快速測定廢水中待測參數(shù)的濃度,濃度直讀 * 冷光源、窄帶干涉、光源壽命長達10萬小時 * 內存99條標準曲線,用戶可自行修訂并保存,修訂曲線具有掉電保留功能 * 儀器內存儲有全量程范圍內的標定曲線,可自動調零和5點自動校正,數(shù)據(jù)有非線性處理及數(shù)據(jù)平滑功能,儀器可自動根據(jù)標準樣品來計算存儲曲線,無須手動制作曲線 * 可精確存儲30000個數(shù)據(jù)詳細信息(測定時間、參數(shù)、數(shù)值) * 可連接電腦或微型打印機打印當前數(shù)據(jù)和所有存儲歷史數(shù)據(jù) 技術指標: l 光 源: 超高亮發(fā)光二極管 l 測量范圍: 各參數(shù)測量范圍不同,請參見下頁附屬說明 l 穩(wěn) 定 性: ±0.002Abs/20min l 測量精度: ≤±5% l 重 復 性:<1% 具體配置: 主機1臺; 比色器具1套; 試劑1套(100個樣) 附錄:可選擇項目及參數(shù)列表(測定范圍可根據(jù)用戶需求進行調制擴展)
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