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MK-MFC50質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2022-11-12 13:12:33瀏覽次數(shù)：248次

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氣體質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制

詳細(xì)介紹

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

技術(shù)指標(biāo)

名稱	主要參數(shù)
量程	10sccm/100sccm/1slpm/10slpm/20slpm
精度	±1%F.S.
氣體類型	H2、N2、Air、He（可定制）
響應(yīng)時間	1s
使用壓力	≤0.3MPa
工作溫度	0~50℃
工作濕度	0~95%R.H.（非冷凝）
工作電壓	24V±10%/1A
接口類型	RS-232
控制方式	按鍵/RS-485/4~20ma
氣路材質(zhì)	不銹鋼/鋁合金
氣路接頭	多規(guī)格選擇（可定制）
尺寸	602680mm

關(guān)鍵詞：氣體質(zhì)量流量控制器氣相色譜



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