利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
選型須知
1、 傳感器、變送器的選擇
用戶根據(jù)自己所測壓力的性質(zhì)，首先應(yīng)確定選擇表壓(相對于當(dāng)?shù)卮髿鈮?、差壓、壓力或負(fù)壓品種。如果測量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測量密封承壓容器內(nèi)的液位就應(yīng)該選用差壓產(chǎn)品。
2、 產(chǎn)品量程的確定
從產(chǎn)品安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜，整個測量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過載壓力不得超過產(chǎn)品允許的過載。測量動態(tài)管路液體壓力時，還應(yīng)考慮水垂效應(yīng)，適當(dāng)增大產(chǎn)品載量。
3、 產(chǎn)品精度選擇
產(chǎn)品等級按多項參數(shù)分檔，檔級越高，價格越貴。用戶可依據(jù)所檢測工況要求各項和某單項參數(shù)精度指標(biāo)，以便用較低的價格實現(xiàn)較高的精度要求。產(chǎn)品給出的三項精度指標(biāo)是采用國際最小二乘法或端基平移法計算的。選用傳感器時，精度等級確定應(yīng)根據(jù)測量系統(tǒng)分配發(fā)給傳感器的誤差選項取。有時還應(yīng)考慮零位時漂、零位和滿度溫度系數(shù)帶入的附加誤差。
4、 選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍
有些系列的變送器在組裝了電路后又進(jìn)行了綜合溫度補償。補償范圍在單項產(chǎn)品介紹中已標(biāo)出。對于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶，還可在二次儀表數(shù)據(jù)處理中采用軟件執(zhí)行溫度誤差修正。超過補償區(qū)使用，溫度系數(shù)指標(biāo)可能會超標(biāo)，但仍可使用。長期在溫度極限區(qū)工作，產(chǎn)品壽命將大大縮短。
5、 差壓傳感器、變送器的選擇
通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴(kuò)散硅傳感器都可同樣用于負(fù)差壓，一般兩引壓端基本對稱，但負(fù)壓端一般不另標(biāo)定，如用戶要求兩引壓端高對稱性，需特別告知。低壓端在系統(tǒng)中有可能出現(xiàn)的超負(fù)量程使用。
6、頻響特性
擴(kuò)散硅傳感器固有頻率相對于其它產(chǎn)品較高，除此之外更多的情況是傳感器結(jié)構(gòu)的引壓腔結(jié)構(gòu)參數(shù)影響和傳感器結(jié)構(gòu)基體剛體的尺寸影響，后者不可能不限長，故主要還是引壓腔影響。
7、與被測介質(zhì)的匹配
傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結(jié)構(gòu)材料生產(chǎn)。具有不同的介質(zhì)兼容性，為了獲得的使用效果，不致因介質(zhì)不匹配而使產(chǎn)品損壞，用戶在選型定貨時應(yīng)明白介質(zhì)的準(zhǔn)確名稱、濃度、溫度。
產(chǎn)品安裝使用注意事項
螺紋連接的產(chǎn)品在安裝和拆卸時，必須用扳手緊六方操作，安裝時不能擰的過緊，嚴(yán)禁夾持其它部位安裝、拆卸，避免損壞相關(guān)聯(lián)結(jié)部件。引壓孔端不得有尖硬物伸入，以免損毀敏感膜或隔離膜，嚴(yán)禁敲打、撞擊、摔跌。
擴(kuò)散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯(lián)電阻法進(jìn)行消除，可采用軟件歸零法、差動輸入修整法、T型電阻網(wǎng)絡(luò)修正等。
