368
MF-U
176 系列 — 高倍率多功能測(cè)量顯微鏡
偏光觀察：
觀察過濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。用于觀察具有特
殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。
微分干涉對(duì)比觀察：
在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和臺(tái)階時(shí)
十很有效。
暗視場(chǎng)觀察：
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對(duì)比
度能觀察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。
亮視場(chǎng)觀察：
zui普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
特點(diǎn)
? 亮視場(chǎng)、大視野觀察可得到清晰、無閃
爍的正像。
? 使用長(zhǎng)工作距離的目鏡，放大倍率可達(dá)
20X (總倍率：4000X)。
? 和高級(jí)檢測(cè)顯微鏡一樣采用校正光學(xué)系
統(tǒng)(FS 系列)。
? 亮／暗視場(chǎng)觀察，偏光觀察和微
分頭干涉對(duì)比 (DIC) 觀察。
? 使用立柱兩側(cè)的微調(diào)／粗調(diào)旋鈕
進(jìn)行調(diào)焦和測(cè)量。
? 調(diào)零開關(guān) (X 軸和 Y 軸) 也位于操作臺(tái)手柄
的附近。
? 帶有鏡頭旋轉(zhuǎn)盤。
? 增強(qiáng)型目鏡可有效緩解眼睛疲勞。
技術(shù)參數(shù)
觀察圖像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可調(diào)瞳距：51 -
76mm), 1X 光管鏡頭、
雙目目鏡 ( 俯角：30o),
十字投影法、帶有TV 插板、
光通比、(目鏡 /TV 插板：50/50)
目鏡 : 10X (視場(chǎng)直徑：24mm),
可選 : 15X, 20X
轉(zhuǎn)盤 (選件): 手動(dòng)或電動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤
物鏡 (選件): 從 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物鏡
(詳見 384 頁(yè))
輪廓照明
? 光源 : 鹵素?zé)襞?(12V, 50W)
? 光學(xué)系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強(qiáng)度可調(diào)、無級(jí)亮度調(diào)整
表面照明
? 光源 : 鹵素?zé)襞菡彰鬟x件(光纖冷光照明)
? 光學(xué)系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強(qiáng)度可調(diào)、無級(jí)亮度調(diào)整
顯示裝置 :
? 軸數(shù) : 2 軸或 3 軸
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 調(diào)零、方向轉(zhuǎn)換、
數(shù)據(jù)輸出 (通過 RS-232C 接口)
電源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
505B: 50 x 50mm
XY 工作臺(tái)選擇(行程范圍)
1010B: 100 x 100mm
2010B: 200 x 100mm
2017B: 200 x 170mm
4020B: 400 x 200mm
MF-UB3017B
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍：300 x 170mm
(帶有可選旋轉(zhuǎn)盤、目鏡和光纖照明)369
選件
378-857: 15X 目鏡套裝 (視場(chǎng)范圍：16mm)
378-858: 20X 目鏡套裝 (視場(chǎng)范圍：12mm)
––––––: 物鏡 (詳見 384 頁(yè))
378-018: 手動(dòng) BF 旋轉(zhuǎn)盤
378-116: 電動(dòng) BF 旋轉(zhuǎn)盤
176-211: 手動(dòng) BF/DF 旋轉(zhuǎn)盤
378-210: 電動(dòng) BF/DF 旋轉(zhuǎn)盤
––––––: 分劃板 (詳見 366 頁(yè))
178-092: 偏振器
378-076: 用于 100X, SL80X, SL50X 目鏡的微分干涉
對(duì)比裝置
378-078: 用于50X, SL20X 目鏡的微分干涉對(duì)比裝置
378-079: 用于 20X 目鏡的微分干涉對(duì)比裝置
378-080: 用于 10X, 5X 目鏡的微分干涉對(duì)比裝置
12AAA643: ND2 型彩色濾光片
12AAA644: ND8 型彩色濾光片
12AAA645: GIF 型濾光片
12AAA646: LB80 型彩色濾光片
375-054: 0.5X 相機(jī)轉(zhuǎn)向鏡 (帶有 C-mount 適配器)
970441: C-mount 適配器
513667: 鹵素?zé)襞?(24V, 50W)
12BAB345: 鹵素?zé)襞?(長(zhǎng)壽型、24V, 50W)
517181: 鹵素?zé)襞?(24V, 100W)
12BAD602: 鹵素?zé)襞?(高亮度型、24V, 100W)
176-308: 防振臺(tái)架
176-309: 安裝臺(tái)架
375-056: 讀數(shù)尺
12AAA165: 鏡頭清洗工具
12AAA846: 腳踏開關(guān)
照明元件 (詳見 373 頁(yè))
176-315: 鹵素照明裝置 (12V, 100W)
176-316: 鹵素照明裝置 (12V, 150W)
176-343: 雙光纖照明裝置
12AAG806: GIF 型彩色濾光片 (用于 176-315)
12AAG807: LB80 型彩色濾光片 (用于 176-315)
固定和工作臺(tái)附件 (詳見 363 頁(yè))
176-107: 帶有夾鉗的支架 *
172-378: 帶有夾鉗的 V 型塊 *
(zui大工件直徑：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋轉(zhuǎn)式中心架 *
(zui大工件直徑：80mm)
176-305: 帶有微調(diào)旋鈕的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，適用于
505B/1010B/1020B 型號(hào)
176-306: 帶有微調(diào)旋鈕的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，適用于
1720B/1730B 型號(hào)
*1020B 型號(hào)需要與固定適配器(176-310) 配合使用
1720B/1730B 型號(hào)需要與固定適配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 數(shù)據(jù)處理器
(詳見374 頁(yè))
12AAA807: 連接電纜套裝
Focus pilot FP-05
輔助聚焦系統(tǒng)
(詳見372 頁(yè))
Vision Unit
基于PC 的視像測(cè)量系統(tǒng)
(詳見376 頁(yè))
設(shè)備選型
單位：mm
尺寸
性能參數(shù)
型號(hào) (XY 工作臺(tái)尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號(hào) MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動(dòng)范圍 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調(diào)焦方式 手動(dòng)調(diào)焦 (粗調(diào)焦：10mm/rev、微調(diào)焦：0.1mm/rev)
測(cè)量方法 線性編碼器 (2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉(zhuǎn)換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測(cè)量精度 (20oC 時(shí)) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 無負(fù)載測(cè)量長(zhǎng)度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 時(shí)) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)
浮動(dòng)功能 帶有快速斷開功能的 X 和 Y 軸
XY 工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉(zhuǎn)功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號(hào)后加上以下后綴(如：176-567A):
A 適于UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國(guó)、K 適于 EK，無后綴適于JIS/100V
設(shè)備型號(hào) MF-UA 型 MF-UB 型 MF-UC 型 MF-UD 型
觀察類型 亮視場(chǎng) (BF) 亮視場(chǎng) (BF) 亮／暗視場(chǎng) (BF/DF) 亮／暗視場(chǎng) (BF/DF)
測(cè)量系統(tǒng) X 和 Y 軸 (2 軸) X, Y 和 Z 軸 (3 軸) X 和 Y 軸 (2 軸) X, Y 和 Z 軸 (3 軸) |
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