? 9N 氫氣（99.9999999%，9 個 9，半導體電子級超純氫）

9N：總雜質(zhì)只有 10ppb，水是其中一項雜質(zhì)，水分一般控制在 ≤1 ppb (v)，對應常壓露點大約 -100℃ 左右

純度分級對照（方便你對比）

• 6N（99.9999%）：水≤0.5 ppmv，露點≤-85℃（國標 GB/T3634.2）

• 7N（99.99999%）：水通常 ≤100 ppb，露點≈-92℃

• 8N（99.999999%）：水≤10 ppb，露點≈-98℃

• 9N（99.9999999%）：水≤1 ppb，露點≈-100℃

?? 關鍵點：

1. 露點是壓力相關！ 上面數(shù)值是常壓（1bar）露點；壓力越高，同等水含量，露點越高。

2. 9N 屬于半導體特氣，不是國標常規(guī)分級，國標最高只定義到 6N（99.9999%），9N 指標是 SEMI 半導體行業(yè)企業(yè)規(guī)格。

3. 9N 氫氣的水分只是全部雜質(zhì)里的一部分，其余雜質(zhì)（O?、N?、CO、CO?等）合計也要控制在 10ppb 以內(nèi)，水分不一定剛好等于 1ppb。