MultiDetek3 是一款受歡迎的緊湊型模塊化過程工業(yè)氣相色譜儀，具有雙進(jìn)樣氣入口和在線模塊，可以同時(shí)對(duì)微量水分、氧以及微量雜質(zhì)進(jìn)行流分析。

LDetek系統(tǒng)可穩(wěn)定監(jiān)測(cè)電子氣體純度高至8個(gè)9（99.999999%），檢測(cè)下限可達(dá)0.1ppb，確保滿足嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制造要求，減少氣體不純帶來的危害。

MultiDetek3系統(tǒng)可在5分鐘內(nèi)完成一個(gè)分析循環(huán)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體質(zhì)量的快速檢測(cè)和異常預(yù)警，平均重復(fù)性精度優(yōu)于±2%，有助于提升整體凈化效率。

通過精準(zhǔn)控制氣體純度，有效減少原材料浪費(fèi)和不良品率，幫助客戶實(shí)現(xiàn)高達(dá)30%的運(yùn)用成本節(jié)約。系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間高達(dá)99.5%，提高生產(chǎn)效率。