高真空退火爐

產(chǎn)品介紹

     目前國內(nèi)高溫退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐，原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫速度慢，效率低下，也無法實現(xiàn)溫度的高精度測量，加熱區(qū)域也存在不均勻的現(xiàn)象，華測儀器通過多年研究開發(fā)了一種可實現(xiàn)高精度，高反射率的拋物面與高質(zhì)量的加熱源相配置，在高速加熱高速冷卻時，具有良好的溫度分布?？蓪崿F(xiàn)寬域均熱區(qū)，高速加熱、高速冷卻，用石英管保護加熱式樣，無氣氛污染。可在高真空，高出純度氣體中加熱。設(shè)備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐，是一種目前較為理想的真高空退火爐。

   它提高了加熱試驗?zāi)芰?/span>.同電阻爐和其他爐相比，紅外線反射退火爐節(jié)省了升溫時間和保持時間及自然冷卻到室溫所需時間，再試驗中也可改寫設(shè)定溫度值。從各方面講，都節(jié)省時間并提高實驗速度。

   同高頻爐相比，不需特殊的安裝條件及對加熱試樣的要求。同電阻爐一樣安裝簡單，有冷卻系統(tǒng)安全可靠。以提高試驗人員的工作效率，實現(xiàn)全新的溫度控制操作！

結(jié)構(gòu):

溫控系統(tǒng)：設(shè)備采用PID溫度控制，同時采用移相觸發(fā)技術(shù)保證試驗溫度，確保±1℃的均勻性，多區(qū)獨立控溫補償邊緣熱損失；

• 根據(jù)設(shè)備上的溫度控制器輸入?yún)?shù)，您也可以簡單輸入溫度程序設(shè)定和外部信號。另外還可以在電腦上顯示熱中的溫度數(shù)據(jù)；

• 自適應(yīng)熱電偶包括JS、K、J、T、E、N、R、S、B、以及L、U、W型；

• 可設(shè)定32個程序、256個步驟的程序；
• 30A、60A、120A內(nèi)置了SCR電路，所以范圍很廣。
? 腔體設(shè)計： 石英或碳化硅材質(zhì)，耐高溫且低污染，晶圓通過自動傳輸系統(tǒng)進出，減少人為干擾；
? 進口干泵： 抽速>120L/min，極限真空度≤4pa，噪音小于 52db；

進口全量程真空規(guī)：刀口法蘭接口，真空測量范圍 5×10^-7 Pa 到 1atm。

技術(shù)規(guī)格:

產(chǎn)品型號：Huace-800G/1200G/1450G
產(chǎn)品尺寸：6 寸晶圓或者支持150 x 150mm產(chǎn)品
溫度范圍：室溫 ~ 1250 °C
升溫速度：<100 ℃ /s 可編程（此溫度為不含載盤的升溫速度）< 25 ℃ /s（SiC 載盤）
溫度均勻度：±5 °C ≤ 500 ℃ ±1 % > 500 ℃
溫度控制重復(fù)性：±1 °C
溫控方式：快速 PID 溫控

應(yīng)用領(lǐng)域電子材料
• 半導(dǎo)體用硅化合化的PRA(加熱后急速冷卻)；
• 熱源薄膜形成；
• 激活離子注入后；
• 硅化物的形成；
陶瓷與無機材料
• 半導(dǎo)體用硅化合化的PRA(加熱后急速冷卻)；
• 陶瓷基板退火爐；
• 玻璃基板退火爐；
• 陶瓷張力、撓曲試驗退火爐。
鋼鐵和金屬材料
• 薄鋼板加熱過程的數(shù)值模擬；
• 爐焊接模擬；
• 高真空熱處理(1000°C以下)；
• 大氣氣體熔化過程；
• 壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗爐。
其他
• 高溫拉伸壓縮試驗爐；
• 分段分區(qū)控制爐；
• 溫度梯度爐；
• 爐氣分析；
• 超導(dǎo)陶瓷退火爐。
復(fù)合材料
• 耐熱性評價爐；
• 無機復(fù)合材料熱循環(huán)試驗爐。