機電薄膜e31測試儀

薄膜材料的機電性能是MEMS器件設計的關鍵性能，縱向壓電系數d33和橫向壓電系數e31被用于表征傳感器和執(zhí)行器的這些關鍵性能。

標準的aix4PB系統(tǒng)主要由以下部分組成：四點彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000、單光束激光測振儀。
可以進行如下測試功能：
全部鐵電性能表征，基于TF2000系統(tǒng)，包括極化、電容、漏電流、疲勞測試。
有效橫向壓電系數的測量通過交替均勻機械力施加于樣品，并測試產生的電荷。
所有的測量數據也可以在附加的壓縮或拉伸靜態(tài)負載下進行，這也覆蓋了整個壓電薄膜在整個MEMS器件中的行程。

特點/規(guī)格：
四點彎曲樣品夾具：
產生力的壓電執(zhí)行器
激光測振儀夾具
很容易接觸到頂部和底部的樣品電極
所有的TF2000系統(tǒng)的測試功能
遠程接入和腳本控制的可選件
單光束激光干涉儀，zui小分辨率1nm

軟件：
Windows 7 操作系統(tǒng)
通過GPIB或以太網的遠程接入和腳本控制
通過ODBC接口的數據庫連接
測試數據通過ASCII形式輸出
測試數據交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer