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超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU9000

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更新時間：2022-04-30 19:56:27瀏覽次數(shù)：243次

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專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的*半導體器件，高分辨成像所設(shè)計

詳細介紹

專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的*半導體器件，高分辨成像所設(shè)計。

特點

1.新的電子槍和電子光學設(shè)計提高了低加速電壓性能。

　0.4 nm / 30 kV (SE)

　1.2 nm / 1 kV (SE)

　0.34 nm / 30 kV (STEM)

2.用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

3.采用全新設(shè)計的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。



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