電子級鹽酸

英文名：Hydrochloric Acid，分子式HCl，相對分子質(zhì)量36.46。鹽酸是氫氯酸的俗稱，是氯化氫（HCl）氣體的水溶液，為無色透明的一元強酸。鹽酸為不同濃度的氯化氫水溶液，呈透明無色或黃色，有刺激性氣味和強腐蝕性，易溶于水、乙醇和油等。濃鹽酸為含38%氯化氫的水溶液，相對密度1.19，熔點-112℃，沸點-83.7℃。3.6%的鹽酸，pH值為0.1。鹽酸具有*的揮發(fā)性，因此打開盛有濃鹽酸的容器后能在其上方看到白霧，實際為氯化氫揮發(fā)后與空氣中的水蒸氣結(jié)合產(chǎn)生的鹽酸小液滴。

在集成電路制作過程中，基片表面的金屬雜質(zhì)可能會擴(kuò)散進(jìn)入基片，導(dǎo)致器件的性能下降和成品率的降低。因此在沉積金屬前，確保基片表面沒有金屬雜質(zhì)是極為重要的。因為鹽酸能和大多數(shù)金屬反應(yīng)形成水溶性的鹽，然后被水清洗去除，所以使用高純鹽酸進(jìn)行清洗可有效降低金屬雜質(zhì)。除此之外，在太陽能電池生產(chǎn)過程中，單晶硅和多晶硅也都會采用鹽酸和HF的混合液進(jìn)行清洗。

EL： 單項金屬雜質(zhì)含量≤100ppb,顆粒（≥0.5um）≤100EA/ml
MOS：單項金屬雜質(zhì)含量≤50ppb,顆粒（≥0.5um）≤50EA/ml
UP： 單項金屬雜質(zhì)含量≤10ppb,顆粒（≥0.5um）≤25EA/ml