編號(hào)

名稱

型號(hào)

數(shù)量

1

前級(jí)真空泵二級(jí)羅茲泵^*

額定速率85L/S，Z終真空度<0.06pa

各1

2

管道

DN30,螺紋不銹鋼波紋管

2

3

球閥、電磁閥

316 . GU型真空球閥，DDC真空電磁閥

4

4

連接槽件

DN30型，用于連接SF6氣體回充裝置

1

5

管道

2

6

真空隔膜閥

7

真空表

數(shù)顯

1

8

連接槽件

1

9

連接插件

1

10

軟管

長(zhǎng)度5m，憎水材料組成

2

11

連接插件

可選配各種類型的電器設(shè)備接口

產(chǎn)品型號(hào)

真空泵速率（L/s）

極限真空

（pa）

抽真空時(shí)間（s）

170L

340L

680L

1360L

2700L

5400L

SG2085

85

≤5*10^-2

2

4

12

20

40

80