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薄膜溫度傳感器的一些研究情況

閱讀：668發(fā)布時(shí)間：2012-11-23

薄膜溫度傳感器是一種新型的測(cè)溫傳感器，工作原理與普通熱電阻，熱電偶相同，但它的熱接點(diǎn)厚度一般只有幾微米。薄膜溫度傳感器由于具有體積小、響應(yīng)時(shí)間短、靈敏度高、便于集成等特點(diǎn)，適于測(cè)量物體隨時(shí)間快速變化的溫度。薄膜熱電偶的原理zui早是由德國(guó)人P.Hackmann于*次世界大戰(zhàn)期間提出的，并將研制出膜厚只有2um的薄膜熱電偶傳感器用于測(cè)量槍膛在彈射出后的溫度變化腳。其后世界各地許多學(xué)者對(duì)薄膜溫度傳感器的結(jié)構(gòu)、制備方法、性能和應(yīng)用前景進(jìn)行了大量研究工作，并取得了令人鼓舞的進(jìn)展，近年來(lái)廣泛地應(yīng)用在內(nèi)燃機(jī)活塞頂面、燃燒室壁面和切削刀尖等瞬態(tài)溫度測(cè)試中。國(guó)內(nèi)西北工業(yè)大學(xué)的李付國(guó)，黃呂權(quán)等人研制出新型的薄膜熱電偶溫度傳感器用于測(cè)量鍛模工作表面和內(nèi)部瞬態(tài)溫度；西安公路交通大學(xué)的錢蘭等研制出用于內(nèi)燃機(jī)壁面?zhèn)鳠徇^(guò)程分析的薄膜溫度傳感器；大連理工大學(xué)精密與特種加工*重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的孫寶元等人研究并制作出用于測(cè)量切削溫度的NiCr/NiSi薄膜熱電偶。
研制薄膜溫度傳感器的關(guān)鍵是解決鍍膜耐磨、牢固性、抗沖擊和絕緣問(wèn)題以及膜層間的結(jié)合難度，國(guó)內(nèi)外學(xué)者都有對(duì)鍍膜工藝做了大量的研究并制作出相應(yīng)的薄膜式傳感器。到目前為止，研究人員研制出的薄膜式溫度傳感器可以某些場(chǎng)合得到很好的應(yīng)用，但其通用性存在不足，并且成本高；同時(shí)，受到工藝和材料的限制，傳感器的使用壽命一般都較短。

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