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SuperView W3白光干涉儀

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更新時間：2022-01-24 10:44:52瀏覽次數：245次

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產品簡介

SuperView W3白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器?！　uperView W3白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造......

詳細介紹

產品型號：SuperView W3

產品名稱：白光干涉儀

原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置：長范圍，Z軸納米光柵控制

物鏡：Nikon，10×無限遠共軛干涉物鏡

物鏡座：5孔電動物鏡塔臺（標準）

測量陣列：1024*1024，工業(yè)級相機

Z軸：100mm行程，納米位移閉環(huán)反饋

安全性：系統(tǒng)集成緊急制動功能

樣品臺：0.1nm電動，俯仰傾斜±6°，電動調節(jié)，XY行程300*300
　　　　尺寸450*450mm，亞微米閉環(huán)反饋

一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。
測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
測量中提供拼接測量功能。
分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

半導體制造（減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓）	光學元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度

（超精密）加工.輪廓尺寸&角度	表面工程（摩擦學）.輪廓面積&體積

3C電子（玻璃屏）.粗糙度	標準塊.臺階高&粗糙度