薄膜測(cè)試儀/功能薄膜特性測(cè)試儀  型號(hào)：HZ-DHFC-1

儀器由四探針測(cè)試儀和薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x兩部分組成。具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍寬、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。

    四探針測(cè)試儀由主機(jī)、測(cè)試架等部分組成?？梢詼y(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）、功能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的特性，還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測(cè)量。測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長(zhǎng)。

    薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測(cè)量系統(tǒng)等部分組成。

◆ 測(cè)量范圍：電阻測(cè)量范圍：1×106～1×1017Ω；

     電阻率：0.001～200Ωcm；

     電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm；

◆ 可測(cè)晶片直徑： 200mmX200mm；

◆ 探針：碳化鎢或高速鋼；探針間距：1±0.01mm；

◆ 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；

◆ 本底真空度：≤10Pa，氣壓可控范圍：10～400Pa；

◆ 襯底加熱 溫度：室溫～200℃。

北京恒奧德儀器儀表有限公司

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2.表面電阻測(cè)試儀/薄膜表面電阻儀 型號(hào):HAD-800

表面電阻測(cè)試儀/薄膜表面電阻儀 型號(hào):HAD-800

該儀器帶有100V電極,可以配帶兩個(gè)5磅法碼,更準(zhǔn)確的測(cè)量物體表面的阻抗,可用于測(cè)量防靜電地板,防靜電臺(tái)墊等.

此款儀器為袖珍便攜式電阻儀，根據(jù)IEC 61340-5在100V測(cè)試電壓下測(cè)量表面抗阻。該儀器在上端裝有2個(gè)平行的探針，將其置于物體表面即可進(jìn)行表面抗阻測(cè)量。
 

在咪表的頂上有2個(gè)接頭，可以確保外置探針的使用。

規(guī)格：

測(cè)試范圍：103~1012

電源：9V電池

重量：180克

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