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雙電測(cè)四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀　型號(hào)：H17300

H17300型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合（亦稱雙位組合）測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

H17300型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量范圍	電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）；方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）；電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；電阻：0.001～200Ω.cm；
可測(cè)晶片厚度	≤3mm
可測(cè)晶片直徑	140mmX150mm（配S-2A型測(cè)試臺(tái)）； 200mmX200mm（配S-2B型測(cè)試臺(tái)）； 400mmX500mm（配S-2C型測(cè)試臺(tái)）；
恒流源	電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	（見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差（按JJG508-87進(jìn)行）	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差	（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±4%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤4%
計(jì)算機(jī)通訊接口	并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對(duì)濕度：≤65%；無高頻干擾；無強(qiáng)光直射；：51658042

北京恒奧德儀器儀表有限公司
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2.手持式數(shù)字式四探針測(cè)試儀/手持式四探針測(cè)試儀/四探針電阻測(cè)試儀　型號(hào)：HADM-2

手持式數(shù)字式四探針測(cè)試儀/手持式四探針測(cè)試儀/四探針電阻測(cè)試儀　型號(hào)：HADM-2

HADM-2型手持式數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測(cè)試臺(tái)。

主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用一旋鈕輸入；具有零位、滿度自校功能；全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀采用可充電電池供電，適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用！

探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭，也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

詳見表2《四探針探頭型號(hào)規(guī)格特征選型參照表》點(diǎn)擊進(jìn)入

儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍、分辨率

電阻： 0.010 ～ 9999Ω, 分辨率0.001 ～ 1 Ω

電阻率： 0.010～ 2000Ω-cm，分辨率0.001 ～ 1 Ω-cm

方塊電阻： 0.050～ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ～ 1 Ω/□

2. 材料尺寸

手持方式不限材料尺寸，但加配測(cè)試臺(tái)則由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定

直徑：HAD/SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm。

HAD/SZT-C方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm。

長(zhǎng)（高）度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm。.

測(cè)量方位: 軸向、徑向均可.

3. 量程劃分及誤差等級(jí)

量程（Ω-cm/□）	9.999	99.99	999.9	9999.
電阻測(cè)試范圍	0.010～9.999	9.99～99.99	99.99～999.9	999.9～9999
電阻率/方阻	0.010/0.050～9.999	9.99～99.99	99.99～999.9	999.9～2000
基本誤差	±1%FSB±2LSB			±2%FSB±2LSB