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CMI900/950系列X射線熒光測厚儀
Advanced Materials Analysis Instrument

CMI900/950系列X射線熒光測厚儀能夠測量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品；并且測量點zui小可達0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用開槽式樣品室，以方便對大面積線路板樣品的測量。它可提供五種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為：

標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
擴展型標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
可調(diào)高度型標準樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
程控樣品臺：XYZ軸自動控制。
超寬程控樣品臺：XYZ軸自動控制。

CMI950系列采用開閉式樣品室，以方便測定各種形狀、各種規(guī)格的樣品。同樣，CMI950可提供四種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為：

全程控樣品臺：XYZ三軸程序控制樣品臺，可接納的樣品zui大高度為150mm，XY軸程控移動范圍為300mmx 300mm。此樣品臺可實現(xiàn)測定點自動編程控制。
Z軸程控樣品臺：XY軸手動控制，Z軸自動控制，可接納的樣品zui大高度為270mm。
全手動樣品臺：XYZ三軸手動控制，可接納的樣品zui大高度為356mm。
可擴展式樣品臺用于接納超大尺寸樣品。

CMI900/950主要技術(shù)規(guī)格如下：

No.	主要規(guī)格	規(guī)格描述
1	X射線激發(fā)系統(tǒng)	垂直上照式X射線光學系統(tǒng)
		空冷式微聚焦型X射線管，Be窗
		標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等
		功率：50W（4-50kV，0-1.0mA）－標準 75W（4-50kV，0-1.5mA）－任選 X射線管功率可編程控制
		裝備有安全防射線光閘
2	濾光片程控交換系統(tǒng)	根據(jù)靶材，標準裝備有相應(yīng)的一次X射線濾光片系統(tǒng)
		二次X射線濾光片：3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選
		位置傳感器保護裝置，防止樣品碰創(chuàng)探測器窗口
3	準直器程控交換系統(tǒng)	zui多可同時裝配6種規(guī)格的準直器，程序交換控制
		多種規(guī)格尺寸準直器任選：－圓形，如4、6、8、12、20 mil等－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
4	測量斑點尺寸	在12.7mm聚焦距離時，zui小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm準直器）
		在12.7mm聚焦距離時，zui大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm（使用0.3mm準直器）
5	X射線探測系統(tǒng)	封氣正比計數(shù)器
		裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路
6	樣品室	CMI900	CMI950
	－樣品室結(jié)構(gòu)	開槽式樣品室	開閉式樣品室
	－zui大樣品臺尺寸	610mmx 610mm	300mmx 300mm
	－XY軸程控移動范圍	標準：152.4 x 177.8mm 任選：50.8mmx 152.4mm 50.4mm x 177.8mm 101.6 x 177.8mm 177.8 x 177.8mm 610mm x 610mm	300mmx 300mm
	－Z軸程控移動高度	43.18mm	XYZ程控時，152.4mm XY軸手動時，269.2mm
	－XYZ三軸控制方式	多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制
	－樣品觀察系統(tǒng)	高分辨、彩色、實時CCD觀察系統(tǒng)，標準放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。
		激光輔助光自動對焦功能
		可變焦距控制功能和固定焦距控制功能
7	計算機系統(tǒng)配置	IBM計算機：2.8G奔騰IV處理器，256M內(nèi)存，1.44M軟驅(qū)，40G硬盤，CD-ROM，鼠標，鍵盤，15寸液晶，56K調(diào)制解調(diào)器?；萜栈驉燮丈噬珖娔蛴C。
8	分析應(yīng)用軟件	操作系統(tǒng)：Windows2000中文平臺中文分析軟件包：SmartLink FP軟件包
	－測厚范圍	可測定厚度范圍：取決于您的具體應(yīng)用。請告訴牛津儀器您的具體應(yīng)用，我們將列表可測定的厚度范圍
	－基本分析功能	無標樣檢量線測厚，可采用一點或多點標準樣品自動進行基本參數(shù)方法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應(yīng)用提供必要的校正用標準樣品。
		樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體（鍍液中的元素含量）
		可檢測元素范圍：Ti²² – U⁹²
		可同時測定5層/15種元素/共存元素校正
		組成分析時，可同時測定15種元素
		多達4個樣品的光譜同時顯示和比較
		元素光譜定性分析
	－調(diào)整和校正功能	系統(tǒng)自動調(diào)整和校正功能：校正X射線管、探測器和電子線路的變化對分析結(jié)果的影響，自動消除系統(tǒng)漂移
		譜峰計數(shù)時，峰漂移自動校正功能
		譜峰死時間自動校正功能
		譜峰脈沖堆積自動剔除功能
		標準樣品和實測樣品間，密度校正功能
		譜峰重疊剝離和峰形擬合計算
	－測量自動化功能（要求XY程控機構(gòu)）	鼠標激活測量模式：“Point and Shoot”
		多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復(fù)測量模式
		測量位置預(yù)覽功能
		激光對焦和自動對焦功能
	－樣品臺程控功能（要求XY程控機構(gòu)）	設(shè)定測量點
		One or Two Datumn （reference） Points on each file
		測量位置預(yù)覽（圖表顯示）
	－統(tǒng)計計算功能	平均值、標準偏差、相對標準偏差、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動范圍、數(shù)據(jù)編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖
		數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表
		直方圖
		數(shù)據(jù)庫存儲功能

	－系統(tǒng)安全監(jiān)測功能	Z軸保護傳感器
		樣品室門開閉傳感器
		操作系統(tǒng)多級密碼操作系統(tǒng)：操作員、分析員、工程師
	－任選軟件	統(tǒng)計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書
		液體樣品分析，如鍍液中的金屬元素含量
		材料鑒別和分類檢測
		材料和合金元素分析
		貴金屬檢測，如Au karat評價