干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。儀器配對各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。

主要參數：

工作物鏡的數值孔徑： 0.65 工作距離： 0.5毫米
測微目鏡放大倍數： 12.5倍 工作臺垂直移動： 5毫米
X、Y方向移動范圍：近似于10毫米 旋轉運動范圍： 360度
測微鼓分劃值：0.01毫米 
 
儀器的配套性 ：
　
＊ 儀器主體 1臺 ＊ 12.5X測微目鏡 1件
＊ 狹縫目鏡 1件 ＊ V型塊 1件
＊ 6V、5W燈泡 6件 ＊ 可調變壓器 1臺
＊ 快門線 1根 ＊ 試樣夾 1件
 
數碼相機適配鏡
尼康S4數碼相機