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微小氣體流量計

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聯(lián)系方式：葛女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-10-09 14:16:42瀏覽次數(shù)：191次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：807條

所在地區(qū)：陜西西安市

聯(lián)系人：葛女士 （銷售經理）

產品簡介

AX10FD微小氣體流量計氣體流量控制器微小氣體質量流量計微小流量計微小流量計廠家西安微小流量計質量流量控制器AX10FD質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制

詳細介紹

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       AX10FD質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

AX10FD微小流量計的主要參數(shù)：

 

1 量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM

（0~1,2,3,5,10） SLM

2 準確度 +1.5%F.S

3 線性 +0.5~1.5%F.S

4 重復精度 +0.2%F.S

5 響應時間 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

6 工作壓差 0.1~0.5MPa

7 耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa

8 工作環(huán)境溫度 0~70℃

9 數(shù)字量 RS485 MODBUS協(xié)議

10 模擬量 DC0~5V，4~20mA可選

11 供電 DC+15V/24V可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA

12 電氣連接 DB15

13 漏率 1×10 -8SCCSHe

14 底座材質 316L不銹鋼

15 密封材質 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠

16 氣路街頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注意:

質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定.

質量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)

標準狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃);

氣壓-----101325Pa （760mm Hg）

F.S(FullScale); 滿量程值

微小氣體流量計工作原理

AX10FD系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316不銹鋼包裝殼內。

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