當(dāng)前位置:南京昊盛實驗儀器有限公司>>七星流量計>> 七星D07系列質(zhì)量流量計
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所 在 地南京市
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更新時間:2025-07-02 08:24:25瀏覽次數(shù):159次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量;質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。他們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴撒、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、色相譜儀及其它分析儀器。
D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點,其操作使用方面,可任意位置安裝,并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。
D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計一般與D08系列流量顯示儀等產(chǎn)片配套使用,控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。
項目/型號 | D07-11B | D07-11BM |
流量規(guī)格 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
準(zhǔn)確度 | ±1%F.S | ±1.5%F.S |
線性 | ±(0.5~1)%F.S | ±(0.5~1.5)%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | 電特性:10sce | 10sce |
工作壓差范圍 | (0.2~0.8)MPa | 氣壓降<0.01MPa |
耐壓 | 10MPa | 10MPa |
工作環(huán)境溫度 | 5℃~45℃ | 5℃~45℃ |
輸入輸出信號 | 0V~+5.00V | 0V~+5.00V |
電源 | +15V 50mA | +15V 50mA |
重量 | 1.1Kg | 0.92Kg |
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