詳細(xì)摘要： NorthStar ALD原子層沉積系統(tǒng)提供各種淀積方法，包括熱淀積以及能量增強(qiáng)淀積。每臺(tái)設(shè)備可以提供多達(dá)8個(gè)源管路以及一個(gè)熱壁淀積腔，使其應(yīng)用范圍極為廣泛。設(shè)...
產(chǎn)品型號(hào)：ALD-05所在地：國外更新時(shí)間：2026-05-26 在線留言
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詳細(xì)摘要： NorthStar ALD原子層沉積系統(tǒng)提供各種淀積方法，包括熱淀積以及能量增強(qiáng)淀積。每臺(tái)設(shè)備可以提供多達(dá)8個(gè)源管路以及一個(gè)熱壁淀積腔，使其應(yīng)用范圍極為廣泛。設(shè)...
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