四點彎-半導體薄膜結(jié)合力檢測系統(tǒng)
1.產(chǎn)品簡介
四點彎-半導體薄膜結(jié)合力檢測系統(tǒng)V8.2是*的四點彎測試系統(tǒng)，來自于史坦福大學，半導體專業(yè)生產(chǎn)線應用，經(jīng)歷超過8年的開發(fā)和優(yōu)化來提高測試能力、穩(wěn)定性和產(chǎn)量。系統(tǒng)和軟件的控制通過大量的修正來提高測試能力、控制和數(shù)據(jù)分析?？梢詽M足微電子設備、工具和材料公司的測試需求。超過90臺系統(tǒng)銷往4大洲的11個國家，在公司和研究所里得到了廣泛的應用。
是一款高精度的測試系統(tǒng)。它是全電腦控制和數(shù)據(jù)分析，特別是使用四點彎技術，應用于薄膜的粘附和結(jié)合測試。該系統(tǒng)是建立在一個機械的堅硬框架上,提高檢測的穩(wěn)定性和產(chǎn)量。它包括了一個超高精度的線性驅(qū)動器，提供50毫米范圍內(nèi)直線運動和亞微米級分辨率，結(jié)構(gòu)緊湊。該系統(tǒng)能夠測試壓縮（4點彎曲配置）和拉伸（DCB配置）。
該系統(tǒng)和軟件控制也是專為全自動的裂紋速度測試而設計的。整個系統(tǒng)可以在-20攝℃到80℃，濕度在0 - 85%環(huán)境室的范圍內(nèi)操作，這使得在*的環(huán)境控制下進行機械測試。使用四點彎或DCB試樣可以很容易在水性環(huán)境下測試裂紋速度，溶液容器是選配的。也可以應用于其他制定的測試。
2.產(chǎn)品規(guī)格
試驗部分：標配四點彎（壓縮）和雙懸臂彎曲（DCB-拉伸）。其他制定試驗用戶可以改進夾具。
試驗樣品尺寸：18mm-80mm長。沒有寬度限制，常規(guī)樣品寬度2mm-12mm寬。沒有厚度限制，常規(guī)厚度1mm-2mm。
測試系統(tǒng)尺寸：測試框架： 長400mm，寬170mm，高56mm。
電子控制器：長200mm，寬200mm，高180mm。
PC電腦配置平板顯示器。
整套系統(tǒng)能安裝到小型桌子或試驗臺上。也可以安裝在小型試驗推車，便捷使用。
電源供應：110V或220V。
軟件控制：控制軟件可以用于測試四點彎樣品或DCB樣品?？梢詼y試壓縮和拉伸試驗。電腦屏幕上可以顯示臨街載荷和其他圖表特征。軟件包括所有數(shù)據(jù)可以根據(jù)卸載柔量分析出脫粘長度測量值。在潮濕或水性環(huán)境下的破裂速度測量可以使用自動破裂增長率分析的次臨界剝離實驗評估出來。
這是一款用于附著力實驗的高精密軟件系統(tǒng)。
電腦：系統(tǒng)包括可聯(lián)網(wǎng)絡的PC電腦，配置平板顯示器并運行Windows7系統(tǒng)。電腦配有高速USB借口，用于數(shù)據(jù)傳輸和直流電機控制單元。數(shù)據(jù)采集和控制系統(tǒng)包含16位分辨率的模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器。
電子控制：測力傳感器系統(tǒng)電子調(diào)節(jié)。精度為滿量程的0.15%。
測力傳感器：測力傳感器是特殊制造的，密封環(huán)境的，具有溫度補償?shù)模€有非常高的加載精度。
zui大載荷222.4 N.
非線性度< ±0.05 %FS.
磁滯< ±0.03 %FS
補償溫度 -15 to 65oC
直流電機作動器：該系統(tǒng)的zui重要的硬件組件是超高分辨率的直線作動器，能夠提供50mm的直線移動，同時具有亞微米分辨率，安裝在一個緊湊的包裝里。它包括預加載極低摩擦力，耐用滾珠絲桿，用兩相步進電機或閉環(huán)回路直流電機驅(qū)動，集成了高分辨率的編碼器（2048counts/rev.）。作動器有相當?shù)偷撵o態(tài)阻力和摩擦力結(jié)構(gòu)，可以提供移動速度以50nm的幅度增長，zui高速度可達3mm/s。
與傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)測微計驅(qū)動器，此作動器的無回轉(zhuǎn)設計有了更過的優(yōu)勢：
l 消除扭矩感應位移誤差。
l 消除正弦移動誤差。
l 消除接觸點的摩擦。
l 消除尖叫的晃動。
行程：50mm
設計分辨率：0.016μm
zui小移動增加：0.05μm
單向重復性：0.1μm
雙向重復性：1μm
zui大速率：3mm/sec
zui大推拉力：200N
zui大橫向力：100N
編碼器分辨率：2048 counts/rev.
電機分辨率：20000 steps/rev.
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