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低溫管式爐

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更新時間：2025-12-22 08:48:47瀏覽次數(shù)：1105次

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廣州德潤儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

低溫管式爐專門設(shè)計用于低溫CVD工藝,參與反應(yīng)的氣體在低溫、低壓氣氛環(huán)境下沉積之用。如碳納米管的研制等。窯爐采用陶瓷纖維制品隔熱、保溫，電阻絲加熱，優(yōu)質(zhì)氣煉石英管爐膛, 系統(tǒng)可預(yù)抽真空。進口單回路智能溫度控制儀控制、高低溫區(qū)設(shè)計隔板結(jié)構(gòu)。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設(shè)備。

詳細介紹

	單位	DRVD-04/40/2	DRVD-06/60/3	DRVD-07/80/3
加熱區(qū)尺寸	mm（內(nèi)徑）	ф40×400	ф60×600	ф70×800
爐管尺寸	mm（內(nèi)徑）	ф40×1200	ф60×1500	ф70×1800
工作溫度	℃	RT～1050℃（zui高爐溫1100℃）
控制精度	℃	±1
真空度	Pa	6.67×10^-1（機械泵）(可加裝分子泵達到更大的真空度）
可通入氣體	甲烷、乙炔、氫氣、氮氣等氣體
控溫點數(shù)	個	2	3	3
報警保護	超溫、欠溫、斷偶、等報警保護
升溫功率	KW	3	6	7.5
重量	Kg	＜150	＜200	＜250

可按客戶要求重新設(shè)計制造不同技術(shù)參數(shù)的產(chǎn)品

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