IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀是同類產(chǎn)品中的高精確度高品質(zhì)臭氧分析儀的代表，它目前主要用于半導(dǎo)體、芯片、CVD，ALD等領(lǐng)域。由于它優(yōu)異的品質(zhì)，使得它成為那些需要長時(shí)期、高穩(wěn)定地提供連續(xù)測量和工藝控制的客戶的正確選擇，*使用的所有者成本低。是監(jiān)測氣體發(fā)生設(shè)備、氣柜、氣體輸送系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環(huán)境監(jiān)測、職業(yè)衛(wèi)生和科學(xué)。

詳細(xì)介紹

取樣點(diǎn)數(shù)量：1，3或5個(gè)內(nèi)置式多通道閥
量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選
精度等級：5ppb（0-1ppm量程），0.01ppm（0-10ppm量程），0.1ppm（0-100ppm量程）
分辨率高：0.001ppm（0-1ppm），0.01ppm（0-10ppm）
流量：內(nèi)置泵，流量可調(diào)（不大于2L/m）
輸出：模擬4～20mA，以及數(shù)字輸出
CE認(rèn)證；內(nèi)部自檢；RS-232通訊接口

關(guān)鍵詞：通訊接口

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IN-2000紫外臭氧分析儀

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