早期激光器由于功率較小，用光電型激光功率計進(jìn)行測量即能滿足使用要求。光電型激光功率計具有靈敏和快速的特點，是出現(xiàn)的功率計。
光電二極管型激光功率計的結(jié)構(gòu)簡單，因為沒有利用光的熱效應(yīng)，對外界環(huán)境溫度的要求比較低，相比于熱效應(yīng)功率計響應(yīng)速度更快；缺點是更容易受到電噪聲干擾，而且光譜響應(yīng)不夠平坦。
目前用于光功率測量的光電二極管主要是PIN型光電二極管（如圖2），相比傳統(tǒng)的PN型，這種結(jié)構(gòu)增大了PN結(jié)中間的耗盡層，結(jié)電容小，響應(yīng)速度更快。以 InGaAs為材料的PIN管，由于其低噪聲和高響應(yīng)度等特性，在工業(yè)界和科學(xué)研究領(lǐng)域都可實現(xiàn)廣泛的應(yīng)用。
1987年，自從利用光電二極管測量激光功率的方法提出，發(fā)展至今，基于光電二極管型光功率的測量已經(jīng)成為一項十分成熟并廣泛應(yīng)用的技術(shù)。光電二極管型的激光功率計有很高的分辨力，可以達(dá)到0.01 dBm。目前，實際生產(chǎn)中常用的光電二極管型光功率計有硅、鍺、銦鎵砷、碲鎘汞等類型，覆蓋了從可見光到紅外的較大波長范圍。
