氣體質(zhì)量流量計(jì)M***030A，控制范圍：10sccm ～ 30slpm，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量計(jì)M***030A有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、長(zhǎng)期穩(wěn)定性佳、工作壓力范圍寬、測(cè)量介質(zhì)適應(yīng)性廣等特點(diǎn)，其操作方便，可任意位置安裝調(diào)試。

詳細(xì)介紹

氣體質(zhì)量流量計(jì)M***030A 產(chǎn)品亮點(diǎn)：

-類型：MFM氣體質(zhì)量流量計(jì)

-控制范圍：10sccm ～ 30slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分)

-準(zhǔn)度等級(jí): ±1% F.S

-耐壓：≤90bar

-標(biāo)準(zhǔn)接口：0-5VDC，4-20mA可選

-響應(yīng)時(shí)間：≤2sec

-使用范圍：2~99% for max range

-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）

-無(wú)需溫度、壓力補(bǔ)償

氣體質(zhì)量流量計(jì)M***030A 性能指標(biāo)：

產(chǎn)品型號(hào)	M030V*	M030A*
流量范圍 (N2)	10sccm ～ 30slpm	10sccm ～ 30slpm
響應(yīng)時(shí)間	≤2秒	≤2秒
準(zhǔn)確度	≤±1% 滿量程	≤±1% 滿量程
重復(fù)精度	≤±0.25% 滿量程	≤±0.25% 滿量程
輸出輸入信號(hào)	0~5Vdc	0~5Vdc或4~20毫安
供電	+15~+28Vdc，350毫安	+15~+28Vdc，350毫安
耐壓	≤90 bar	≤90 bar
工作環(huán)境溫度	0~50 °C	0~50 °C

應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器－干刻（RIE/DRIE）－燃料電池
－生物技術(shù) －氣相色譜分析－等離子刻蝕
－激光焊機(jī) －混氣配氣系統(tǒng) －微反應(yīng)裝置
－真空鍍膜－過(guò)程自動(dòng)化－石化工業(yè)

關(guān)鍵詞：氣體質(zhì)量流量計(jì) 質(zhì)量流量計(jì) 標(biāo)準(zhǔn) 氣相色譜

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