具有兩個(gè)(或一個(gè))光學(xué)測(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。光學(xué)測(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋(見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測(cè)量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測(cè)量面的平面度誤差。平行平晶的兩個(gè)光學(xué)測(cè)量平面是相互平行的,用于測(cè)量?jī)筛吖鉂嵄砻娴钠叫卸日`差,例如千分尺兩測(cè)量面的平行度誤差.平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45~150毫米。其光學(xué)測(cè)量平面的平面度誤差為:1級(jí)精度的為0.03~0.05微米;2級(jí)精度的為0.1微米。常見(jiàn)的長(zhǎng)方形平面平晶的有效長(zhǎng)度一般為200毫米。www.bz-xa.com and www.85637775.com
平面平晶:是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)量面的平面度。www.bz-xa.com and www.85637775.com