2024年 9 月 10 日，加利福尼亞州圣何塞，布魯克公司宣布推出 DektakProTM 探針式輪廓儀，這是行業(yè)的 Dektak® 產(chǎn)品線中的下一代輪廓儀。新的臺(tái)式系統(tǒng)融合了超過 55年的創(chuàng)新成果，為半導(dǎo)體應(yīng)用提供了高達(dá)200 毫米的全尺寸樣品測(cè)量區(qū)域，并通過改善用戶體驗(yàn)和測(cè)量精度縮短了獲得結(jié)果的時(shí)間。Dektak Pro 的進(jìn)步鞏固了該品牌作為的探針式輪廓儀的地位，使其能夠滿足眾多工業(yè)和研究市場(chǎng)當(dāng)前和未來的研發(fā)、工藝開發(fā)以及QA/QC 需求。
“我們與 Dektak 工具有著悠久的歷史。它們一直為我們的 MEMS 晶圓廠提供自動(dòng)化和可靠的臺(tái)階輪廓測(cè)量，我們對(duì)此深信不疑，" 泰國(guó)微電子中心（TMEC）晶圓廠經(jīng)理 Nithi Atthi 博士說，“新系統(tǒng)的技術(shù)進(jìn)步有望提供更多的測(cè)量能力，以滿足我們對(duì) MEMS 計(jì)量要求日益嚴(yán)格的高深寬比微結(jié)構(gòu)。"
“Dektak 這個(gè)名字已經(jīng)成為探針式輪廓測(cè)量的代名詞，這是有充分理由的。每年都有數(shù)百臺(tái) Dektak 系統(tǒng)在安裝，證明了業(yè)界對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的持久需求。" 布魯克摩擦學(xué)、探針和光學(xué)計(jì)量業(yè)務(wù)總監(jiān)兼總經(jīng)理 Samuel Lesko 補(bǔ)充道，“通過 Dektak Pro，我們?cè)跍y(cè)量能力和操作簡(jiǎn)便性方面邁出了下一步，同時(shí)保持了 Dektak 的價(jià)值和可靠性，我非常期待看到我們的客戶在未來幾年中使用該系統(tǒng)的多種方式。"
關(guān)于 Dektak Pro
Dektak 探針式輪廓儀廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、顯示、太陽能、醫(yī)療和材料科學(xué)市場(chǎng)，是數(shù)百個(gè)生產(chǎn)、研究和故障分析中心的精密計(jì)量?jī)x器。Dektak 系統(tǒng)用于二維輪廓測(cè)量和三維表面輪廓分析應(yīng)用，可測(cè)量應(yīng)力、納米薄膜厚度和臺(tái)階高度，重復(fù)性優(yōu)于 4 埃。新型 Dektak Pro 引入了臺(tái)階高度和應(yīng)力測(cè)量升級(jí)，擴(kuò)大了其應(yīng)用范圍。簡(jiǎn)化的自動(dòng)臺(tái)階檢測(cè)程序只需要更少的用戶定義參數(shù)，以進(jìn)行簡(jiǎn)潔分析，減少用戶操作引起的變化。二維應(yīng)力測(cè)量分析現(xiàn)在比以往任何時(shí)候都更可定制，允許用戶定義區(qū)域并通過參數(shù)調(diào)整提高精度。新的自動(dòng)定心和晶圓面成像功能還使晶圓翹曲的快速表征和三維應(yīng)力分析成為可能。
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