半導體氣體傳感器是常見的氣體傳感器之一，它的特殊之處就在于運用半導體表面的氧化還原反應原理，因此通常被應用于可燃氣體泄漏檢測，如：液化氣、天然氣、沼氣、氫氣、甲烷等可燃氣體進行檢測。然而不論是什么樣的半導體氣體傳感器都有一個共同點，那就是：半導體氣體傳感器在使用的時候都要用到加熱器，那么加熱器的作用又是什么呢？

半導體氣體傳感器原理

半導體氣體傳感器是利用氣體在半導體表面的氧化還原反應導致敏感元件電阻值發(fā)生變化而制成的。當半導體器件被加熱到穩(wěn)定狀態(tài)，在氣體接觸半導體表面而被吸附時，被吸附的分子首先在物體表面自由擴散，失去運動能量，一部分分子被蒸發(fā)掉，另一部分殘留分子產生熱分解吸附在物體表面。當半導體的功函數(shù)小于吸附分子的親和力，則吸附分子將從器件奪走電子而變成負離子吸附，半導體表面呈現(xiàn)電荷層。例如氧氣，等具有負離子吸附傾向的氣體被稱為氧化型氣體。如果半導體的功函數(shù)大于吸附分子的離解能，吸附分子將向器件釋放出電子，而形成正離子吸附。具有正離子吸附傾向的氣體有氫氣、一氧化碳等，它們被稱為還原性氣體。

當氧化型氣體吸附到n型半導體，還原性氣體吸附到p型半導體上時，將使半導體載流子減少，而使電阻增大。當還原型氣體吸附到n型半導體上，氧化型氣體吸附到p型半導體上時，則載流子增多，半導體阻值下降。

非電阻型氣體傳感器也是半導體氣體傳感器之一。它是利用mos二極管的電容-電壓特性的變化以及mos場效應晶體管的閾值電壓變化等特性而制成的氣體傳感器。由于這類傳感器的制造工藝成熟，便于器件集成化，因而其性能穩(wěn)定價格便宜。利用特定材料還可以使傳感器對某些氣體特別敏感。

半導體氣體傳感器中加熱器作用

半導體氣體傳感器是利用一種金屬氧化物薄膜制成的阻抗器件，其電阻隨著氣體含量不同而變化。氣體分子在薄膜表面進行還原反應以引起傳感器電導率的變化。為了消除氣體分子達到初始狀態(tài)就必須發(fā)生一次氧化反應。 主要是半導體氣敏材料需要在一定溫度下對待測氣體有足夠的吸附，氣體分子可以充分在氣敏材料表面（及晶界）擴散，引起材料的熱電阻變化，這時測量電路就可以測量的準確。簡單的說就是不加熱氣敏材料不夠“靈敏”，有待測氣體時材料本身電阻變化幅度不大，影響測量的準確性。

為了在加熱以后，能夠引起電阻的變化，以便于傳感器更加精準測量，所以要在半導體氣體傳感器中采用加熱器。半導體氣體傳感器作為一種新型實用的氣體傳感器，無論在工業(yè)生產中，還是在實際生活應用中，其應用領域都會越來越加廣泛。