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行業(yè)產(chǎn)品

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南京康氏保健制品有限公司


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高分辨率濺射儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號K575X

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：陸靜查看聯(lián)系方式

更新時間：2017-10-28 02:34:25瀏覽次數(shù)：419次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：14條

所在地區(qū)：江蘇

聯(lián)系人：陸靜 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

K575X使用“渦輪"泵，前級為旋片式機械泵，整個抽真空過程為自動控制。

真空度可調(diào)整，以適應(yīng)鉻或其它易氧化金屬，以及金靶等不同材料要求，定時器可設(shè)置成不同的濺射時間。

詳細(xì)介紹

EMITECH K575X 高分辨率濺射儀  ——Peltier制冷型  本系統(tǒng)裝配了磁控管靶，靶面直徑為54 mm，可快速更換靶材。  濺射頭用Peltier制冷，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層（無需水冷卻）。  濺射時參數(shù)可預(yù)設(shè)，包括氣體放氣電磁閥。  K575d（雙頭）其它與K575X相同，只是具有兩個濺射頭。在進(jìn)行特殊涂層的應(yīng)用時，不需要打開真空即可進(jìn)行兩層沉積濺鍍。  注：K575d技術(shù)規(guī)格與K575X相同，但它具有兩頭。K575X具有peltier制冷，對于比較厚的沉積，通常用K575d（雙頭）單元，它需要用水冷卻。  儀器特點   ● 全自動控制  ● Peltier冷卻濺射頭  ● 精細(xì)鍍層（0.5nm Cr粒子）  ● 可傾斜的特殊旋轉(zhuǎn)臺作為標(biāo)準(zhǔn)配置  ● 薄膜沉積（典型為5nm）  ● 直徑為165mm腔室  ● 可選雙濺射頭  ● 可接膜厚測控儀  儀器優(yōu)點   ● 可濺射易氧化金屬精細(xì)顆粒，如：鉻或銥  ● 易操作  ● 無需水冷卻  ● 超高分辨率，可復(fù)制涂層  ● 適應(yīng)各種樣品  ● 重復(fù)膜厚沉積  ● 樣品容易裝載和卸載  ● 不需要打開真空即可進(jìn)行順序涂層  ● 沉積厚度可預(yù)設(shè)  技術(shù)規(guī)格  儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H  工作腔室：硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H  安全鐘罩：聚碳酸酯  基座： 110 mm直徑x 115mm高  重量：42公斤  靶：54 mm 直徑 x 0.2mm 厚(鉻作為標(biāo)準(zhǔn)靶材)  樣品臺：60mm直徑，具有傾斜功能的旋轉(zhuǎn)臺  真空范圍：ATM-1x10-5 mbar  操作真空：1 x 10-3 mbar到 1 x 10-4 mbar  濺射電流：0-150mA  沉積速率：0-20nm/分  濺射定時：0-4 分鐘  渦輪分子泵：60 litres/Second (極限真空 1x10-8 mbar)  Services - Argon - Nominal 10 psi；             Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas)  真空泵：No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr  電源：230 伏 50Hz(包括泵zui大電流為6安培)        115 伏 60Hz(包括泵zui大電流為12安培) 


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