南京康氏保健制品有限公司
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產(chǎn)品型號K675X
品 牌
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更新時間:2018-04-06 06:14:03瀏覽次數(shù):619次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)K675X濺射鍍膜儀可用于8英寸(200mm)晶圓鍍膜。主機系統(tǒng)具有雙齒轉(zhuǎn)動樣品臺,可進行漸進的橢圓形轉(zhuǎn)動,這樣使得濺射沉積更均勻。
EMITECH K675X 三靶濺射鍍膜儀 ——高分辨率,大樣品鍍鉻或其它金屬 K675X濺射鍍膜系統(tǒng)裝有磁電管靶可增加濺射效率,它使用低電壓,可得到薄而精細的涂層。 在K675X中放置了三個靶面,可鍍非常大直徑的樣品,加上旋轉(zhuǎn)樣品臺,保證了均勻沉積。這種方式不需要特殊的靶面,而用標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)即可。 多靶系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶圓工業(yè)尤為適用。它使用渦輪分子泵,前級為旋轉(zhuǎn)機械泵。集成的儀器面板及即插即用的電子學(xué)zui大的“up-time",以及用戶友好設(shè)計,保證了多學(xué)科領(lǐng)域的應(yīng)用。 濺射參數(shù)可預(yù)設(shè),包括氣體放氣電磁閥。獨立的真空泵系統(tǒng)由儀器自動控制。它可用金作為濺射靶材,在需要預(yù)清洗或去除氧化層時,也可選用其它靶材,如鉻靶。 閘門作為標(biāo)準(zhǔn)配置,這樣在維持真空時即可進行濺射清潔和濺射循環(huán)。 儀器特點 ● 配置三個靶面 ● 渦輪分子泵抽氣系統(tǒng) ● 全自動控制 ● Peltier冷卻濺射頭 ● 精細涂層(0.5nm Cr粒子) ● 可傾斜的特殊旋轉(zhuǎn)臺作為標(biāo)準(zhǔn)配置 ● 薄膜沉積(典型為5nm) ● 直徑為300mm腔室 ● 可選雙濺射頭 儀器優(yōu)點 ● 可對大樣品進行鍍膜,如:8英寸晶圓 ● 可濺射易氧化金屬的精細顆粒,如:鉻或銥 ● 易操作 ● 無需水冷卻 ● 超高分辨率,可復(fù)制涂層 ● 適應(yīng)各種樣品 ● 重復(fù)膜厚沉積 ● 樣品容易裝載和卸載,包括8英寸晶圓 ● 不需要打開真空即可進行兩種金屬順序涂層 技術(shù)規(guī)格 儀器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H (總高 630mm) 工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 300mm Dia. x 20mm H 安全鐘罩:聚碳酸酯 重量:42公斤 靶:54 mm 直徑 x 0.3mm 厚x 3(鉻作為標(biāo)配靶材) 旋轉(zhuǎn)樣品臺:可調(diào)的6 至 8 英寸晶圓尺寸,到靶距離60mm 真空范圍:ATM-1x10-5 mbar 沉積電流范圍:0-450mA 沉積速率:0-15nm/分 濺射定時:0-4 分鐘 電源:230 伏 50Hz(包括泵zui大電流為8安培) 115 伏 60Hz(包括泵zui大電流為16安培) Services Argon - Nominal 10 psi; Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas) 真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr
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商 鋪:南京康氏保健制品有限公司 http://m.liuyangwu.com/st4782/
主營產(chǎn)品:冷光儀;多功能超高倍顯微儀;高倍顯微儀;顯微鏡;電鏡制樣設(shè)備K系列(鍍金\鍍鉑\鍍碳\濺鍍\蒸鍍)
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