美國Tousimis C系列觸摸屏全自動臨界點干燥儀
_晶圓專用CPD（清潔室版本）
C系列為立式（落地式）大型臨界點干燥儀，可在超凈間工作，有3個型號可選：
1）Autosamdri-934，用于不超過4"的晶圓超臨界干燥
2）Automegasamdri-936，用于不超過6"的晶圓超臨界干燥
3）Automegasamdri-938，用于不超過8"的晶圓超臨界干燥
臨界點干燥原理
之所以稱為臨界點干燥（又稱超臨界干燥），因為它存在狀態(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無明顯的區(qū)別，分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱為臨界點。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應(yīng)力對試樣的損壞。
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時經(jīng)常需要進行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時，在臨界點無表面應(yīng)力對樣品的破壞。
特點和優(yōu)點
? 專門的初始慢充到工作腔室，理想的流體動力學保護了敏感微型器件
? 通過觀察窗口實現(xiàn)腔室照明，有助于腔室狀態(tài)可視化
? 觸摸屏控制，出廠默認設(shè)置的全自動處理程序或者自定義用戶程序
? 內(nèi)表面材質(zhì)耐用于CO2，超純乙醇和內(nèi)酮環(huán)境
? 外部安裝的 Post-Purge-Filter等組件，使維護變得很容易
? 采用“螺旋渦流”法，產(chǎn)生流體動力交換，無需用于加快置換的機械攪拌裝置
? 極其高效的集成封閉冷卻回路，快速降低腔室溫度，縮短處理時間
? 工作腔室對液態(tài)二氧化碳的顆粒過濾低至0.08µm,顆粒保留率達到99.999%+
? 防靜電設(shè)計，適合潔凈室材料制造應(yīng)用
? 的腔室填充塊可實現(xiàn)腔室內(nèi)徑的改變，限度地提高液態(tài)二氧化碳利用率、減少工藝時間，并提供多種尺寸晶圓處理能力
? 每次可處理多達5個晶圓片。根據(jù)不同型號，配置不同的HF兼容晶圓支架：8"、6"、4"、3"、2"和10mm模具支架
? 可重復的操作參數(shù)，確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”
? 集成溫度和壓力自動調(diào)節(jié)的安全操作功能
? 內(nèi)置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機體靜電，整個過程無噪聲
主要技術(shù)規(guī)格
? 工作腔室尺寸：934型 4.50"I.D.；936型 6.50"I.D.；938型 8.50"I.D.
? 壓力測量范圍：0-2000psi.
? 溫度測量范圍：-30°C to 60°C
? 控制方式：觸摸屏全自動程序控制
常規(guī)配置
? 柔性高壓液態(tài) CO2 供應(yīng)軟管，便于現(xiàn)場安裝
? 雙T型過濾器組件(#8785)預先安裝在腔室上的液態(tài)二氧化碳高壓軟管
? 所有排氣口均包含無靜電排氣管
? 腔室插件包括 :8"變6"，6"變4"，4"變3"，3"變2"，2"變1.25"，根據(jù)不同型號配置！允許多種晶圓尺寸的干燥
? 配備耐氟樣品架，根據(jù)不同腔室尺寸分別配置用于干燥8"、6"、4"、3"、2"的晶圓或邊長為10mm的方形裸片，每個支架可裝載多達五個晶圓片
? 備用艙室O形圈，腔室燈和保險絲(3A和8A)
注：美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區(qū)代理。Tousimis臨界點干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點干燥儀
2）Samdri®-795半自動臨界點干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界點干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界點干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動臨界點`干燥儀
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀
美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時干燥5片）等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復等特點。其中，經(jīng)典的SAMDRI®-PVT-3D和屢獲殊榮的Autosamdri®-931高級觸摸屏全自動CPD等型號尤其令人矚目?？蛻艨苫诓煌膽?yīng)用選擇不同的型號。
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