AUTOSAMDRI-815/815B Series B 系列CPD
全自動臨界點干燥儀
該系列為臺式全自動臨界點干燥儀，可在超凈間工作，有2個型號可選：
1）AUTOSAMDRI-815 Series B，用于1"的晶圓超臨界干燥
2）AUTOSAMDRI-815B Series B，用于不超過4"的晶圓超臨界干燥
臨界點干燥原理
之所以稱為臨界點干燥（又稱超臨界干燥），因為它存在狀態(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無明顯的區(qū)別，分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱為臨界點。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應(yīng)力對試樣的損壞。
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時經(jīng)常需要進行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時，在臨界點無表面應(yīng)力對樣品的破壞。
特點和優(yōu)點
? 通過微處理控制器來實現(xiàn)自動處理過程；防靜電設(shè)計，適合潔凈室材料制造應(yīng)用
? LED指示，使每一個程序模式的操作一目了然
? 通過微計量閥實現(xiàn)精確控制流量，支持可重復(fù)的精確流量設(shè)置。
? 便捷的頂裝式工作腔室，帶可視窗口，可觀察腔室內(nèi)部狀態(tài)
? 配有過濾裝置，保護樣品和閥門。內(nèi)部過濾可將過濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上
? 內(nèi)表面材質(zhì)耐用于液態(tài)CO2、超純乙醇和丙酮環(huán)境
? 自動臨界點溫度-壓力調(diào)節(jié)，確保系統(tǒng)安全；預(yù)設(shè)靜態(tài)壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性
? 快速冷卻腔室，3分鐘內(nèi)將腔室從室溫降低至接近0℃（815B可在FILL和PURGE模式下自動保持溫度）
? 對于815B型，標配填充塊，可將腔室內(nèi)徑減小到3"、2"或1.25"，可減少CO2浪費，使液態(tài)CO2的使用大化
? 每次運行可以處理5 x 4"，5 x 3", 5 x 2"，5 x 1"直徑的晶圓或者5 x 10mm方晶(提供可以兼容HF的晶圓/方晶樣品架，方便運輸和處理晶圓和方晶)
? 內(nèi)置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機體靜電，整個過程無噪聲
主要技術(shù)指標
? 工作腔室直徑：1.25"I.D.@815 Series B；4.5"I.D.@815B Series B
? 壓力測量范圍：0-2000psi.
? 溫度測量范圍：-30°C to 60°C
? 操控方式：全自動按鍵操控
常規(guī)配置
? 柔性編織不銹鋼耐高壓管，用于輸送液態(tài)CO2
? 對于815B型，配有3個腔室填充塊，可將腔室內(nèi)徑減小到 3"、2"或 1.25"
? 外部液態(tài)CO2過濾系統(tǒng)(#8784)，可去除水/油以及小顆粒
? 防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣
? 備用樣品腔室O形密封圏、腔室照明燈和保險絲
注：美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區(qū)代理。Tousimis臨界點干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點干燥儀
2）Samdri®-795半自動臨界點干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界點干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界點干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 8”Wafers
美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時干燥5片）等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點。客戶可基于不同的應(yīng)用選擇不同的型號。
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