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磁控管冷濺射鍍膜儀

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更新時間：2018-05-15 15:49:17瀏覽次數(shù)：837次

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南京覃思科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

K500X是K550X的手動版，區(qū)別在于它不帶旋轉(zhuǎn)樣品臺，手動操作。所有的其它特點(diǎn)和技術(shù)規(guī)格與K550X相同。

詳細(xì)介紹

K550X具有旋轉(zhuǎn)樣品臺，它也可傾斜，非常適合各種樣品使用。預(yù)選擇參數(shù)及全自動控制使得精確鍍層及重復(fù)厚度沉積更為方便。

磁電管靶使用低電壓，可提高效率，K550X能得到非常精細(xì)的顆粒，由于是冷濺射，所以無需冷卻靶面或樣品臺。

腔室直徑為165 mm(6英寸)，非常方便裝載及移走樣品。

儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶（或用戶選擇），提供的性能價格比?？蛇x靶材包括金/鈀，鉑/鈀和鉑。

功能集中在儀器面板上及即插即用電子學(xué)設(shè)計，zui大的“up-time"，這些用戶友好設(shè)計滿足了不同學(xué)科的用戶需求。

濺射參數(shù)可被預(yù)先設(shè)置，包括氣體放氣針閥，此閥為電磁閥，一旦設(shè)置，它就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖，系統(tǒng)可容易選配K250鍍碳附件。本儀器為全自動操作，可控制獨(dú)立的真空泵。

特點(diǎn)
● 全自動控制
● 低電壓濺射
● 高分辨率精細(xì)涂層(金顆?？蛇_(dá)2 nm)
● 具有傾斜裝置的特殊旋轉(zhuǎn)臺
● 均勻厚度沉積
(掃描電鏡一般厚度為20nm 或200埃)
● 165 mm(6英寸)腔室
● 可接膜厚監(jiān)視器，實(shí)時監(jiān)測鍍覆層厚度

優(yōu)點(diǎn)
● 易操作
● 無需冷卻樣品臺
● 精確的再次涂層
● 適合各種樣品
● 膜厚度重復(fù)性好
● 容易裝載或卸載樣品
● 可預(yù)設(shè)沉積厚度

K500X是K550X的手動版，區(qū)別在于它不帶旋轉(zhuǎn)樣品臺，手動操作。所有的其它特點(diǎn)和技術(shù)規(guī)格與K550X相同。

技術(shù)規(guī)格
儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 重量:18公斤
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H
安全鐘罩:聚碳酸酯
靶：60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標(biāo)準(zhǔn)靶面)
樣品臺：直徑為60 mm，靶面距離40mm,具有傾斜
裝置的旋轉(zhuǎn)臺
真空范圍:ATM-1x10^-2 mbar
濺射電流:0-50mA
沉積速率:0-25nm/分
濺射定時: 0-4 分鐘
預(yù)設(shè)置針閥:控制氬
電源:230 伏 50Hz
(10 amp max. including Pump)

關(guān)鍵詞：電磁閥真空泵監(jiān)視器標(biāo)準(zhǔn)

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