高精密勻膠機

SC100-SE標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的Z大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 

主要性能指標(biāo)：  
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）   
旋涂程序：Z多可存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒   
轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）   
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）   
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm   
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm   
工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec   
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）   
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）  


產(chǎn)品特性優(yōu)點：  
的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。   
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。   
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。   
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。  
采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。   
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。   
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。   
透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔光阻的溢出及有效隔有du氣味的散發(fā)。  


產(chǎn)品外型尺寸：  
　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)  
　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)